[发明专利]一种镀膜遮挡装置及包含其的镀膜装置

权利要求书

1.一种镀膜装置，其特征在于，包括：真空室，所述真空室的上方设置有旋转驱动装置，所述真空室的内部设置有弧形旋转架，所述弧形旋转架与所述旋转驱动装置连接，其中，所述弧形旋转架上设置有多个镀膜遮挡装置；

所述镀膜遮挡装置包括：驱动部、固定板、镀膜板、第一支撑板、第二支撑板、第一导向杆、第二导向杆、挡板和滑动结构；

所述第一支撑板和所述第二支撑板分别设置在所述固定板的两侧；

所述镀膜板设置在所述固定板上，并设置有第一滑槽和第二滑槽以及用于放置待加工件的开孔；

所述第一导向杆和所述第二导向杆间隔设置在所述第一支撑板和所述第二支撑板之间；

所述滑动结构包括滑块、第一连接杆和第二连接杆；所述滑块滑动设置在所述第一导向杆和所述第二导向杆上，并与所述驱动部连接；所述第一连接杆和所述第二连接杆的一端分别与所述滑块连接，另一端分别穿过所述第一滑槽和所述第二滑槽与所述挡板连接；

所述挡板在所述驱动部的作用下，沿滑槽前后移动以挡住或露出所述待加工件。

2.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述弧形旋转架上形成有多个安装孔，所述镀膜板嵌入所述安装孔中，所述固定板固定在所述弧形旋转架上。

3.根据权利要求2所述的镀膜装置，其特征在于，所述固定板通过螺栓固定在所述弧形旋转架上。

4.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述真空室上还设置有真空插头，所述真空插头与所述驱动部通过无线或者有线的方式连接。

5.根据权利要求4所述的镀膜装置，其特征在于，所述真空室上还设置有导电滑环，所述真空插头和所述驱动部通过所述导电滑环连接。

6.根据权利要求4所述的镀膜装置，其特征在于，所述真空插头和所述驱动部通过无线方式连接。

7.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，还包括：设置在所述弧形旋转架的底部的蒸发源，以及设置在所述真空室两侧的膜厚控制器。