[发明专利]电镜系统泵浦光束的稳定装置及方法、电镜系统

权利要求书

1.一种电镜系统泵浦光束的稳定装置，其特征在于，包括：

光斑探测组件，包括多通道光束探测器，所述多通道光束探测器位于电镜中与样品紧邻的物镜后焦面处；

光束稳定控制器，与所述光斑探测组件连接，用于每隔设定时间间隔，执行以下泵浦光束校正操作直至光斑位置漂移量小于或等于第一设定值：

驱动所述光斑探测组件移动，使得所述多通道光束探测器到达电镜中物镜后焦面的电子束路径上；

控制所述多通道光束探测器采集泵浦脉冲光斑信号，并根据当前采集的泵浦脉冲光斑信号与初次采集的泵浦脉冲光斑信号计算得到光斑位置漂移量；当所述光斑位置漂移量大于所述第一设定值时，根据所述光斑位置漂移量对所述泵浦脉冲光束传播方向进行校正调节。

2.如权利要求1所述的电镜系统泵浦光束的稳定装置，其特征在于，所述光束稳定控制器，还用于：当所述光斑位置漂移量小于或等于所述第一设定值时，驱动所述光斑探测组件移动，使得所述多通道光束探测器撤离出所述电子束路径。

3.如权利要求2所述的电镜系统泵浦光束的稳定装置，其特征在于，所述光斑探测组件还包括物镜光阑板，所述物镜光阑板包括光阑孔，所述多通道光束探测器设置在所述物镜光阑板上避开光阑孔的位置；

所述光束稳定控制器，还用于：在驱动所述多通道光束探测器撤离出所述电子束路径后，驱动所述物镜光阑板的光阑孔到达电镜中物镜后焦面的电子束路径上。

4.如权利要求3所述的电镜系统泵浦光束的稳定装置，其特征在于，所述物镜光阑板上设有安装通孔；所述多通道光束探测器嵌设在所述物镜光阑板的安装通孔内；所述多通道光束探测器中设有定位通孔。

5.如权利要求4所述的电镜系统泵浦光束的稳定装置，其特征在于，电镜系统包括电子像探测器；

所述光束稳定控制器，与所述电子像探测器电连接，还用于：在所述多通道光束探测器到达电镜中物镜后焦面的电子束路径上后，进行所述定位通孔与所述电子束的对齐操作，所述对齐操作包括，控制所述电子像探测器采集电子束强度，并根据所述电子束强度驱动所述光斑探测组件移动，直至获得所述电子束强度的最大值。

6.如权利要求4所述的电镜系统泵浦光束的稳定装置，其特征在于，所述光斑探测组件包括两个所述多通道光束探测器；

第一个所述多通道光束探测器的直径大于所述泵浦脉冲光斑直径；

第二个所述多通道光束探测器的直径小于或等于所述泵浦脉冲光斑直径。

7.如权利要求1所述的电镜系统泵浦光束的稳定装置，其特征在于，所述多通道光束探测器为CMOS。

8.如权利要求1-7任一项所述的电镜系统泵浦光束的稳定装置，其特征在于，所述光束稳定控制器包括校正控制模块、驱动组件以及光束调节组件；

所述驱动组件，与所述光斑探测组件传动连接，用于驱动所述光斑探测组件移动；

所述校正控制模块，分别与所述多通道光束探测器和所述驱动组件电连接，用于：控制所述驱动组件的驱动动作；控制所述多通道光束探测器采集泵浦脉冲光斑信号，并根据当前采集的泵浦脉冲光斑信号与初次采集的泵浦脉冲光斑信号计算得到光斑位置漂移量；当所述光斑位置漂移量大于第一设定值时，根据所述光斑位置漂移量生成光束校正指令；

所述光束调节组件，与所述校正控制模块电连接，用于根据所述校正控制模块的光束校正指令对所述泵浦脉冲光束传播方向进行校正调节。

9.如权利要求8所述的电镜系统泵浦光束的稳定装置，其特征在于，所述光束调节组件，包括两个电动反射镜，所述电动反射镜设置在所述电镜的泵浦脉冲光束路径上。