[发明专利]一种列阵波导全固态激光器

权利要求书

1.一种列阵波导全固态激光器，其特征在于，包括激光二极管巴条(1),所述激光二极管巴条(1)包括若干出光点；沿所述激光二极管巴条(1)出光方向依次设置有第一腔镜阵列(2)、第一波导阵列(3)、第二波导阵列(4)、第二腔镜阵列(5)和整形模块(6)；所述第一波导阵列(3)和所述第二波导阵列(4)均包含若干脊形的波导；所述第一波导阵列(3)的每个波导对应所述激光二极管巴条(1)的每个出光点设置；所述第二波导阵列(4)的每个波导对应所述第一波导阵列(3)的每个波导设置；所述激光二极管巴条(1)、所述第一腔镜阵列(2)、所述第一波导阵列(3)、所述第二波导阵列(4)、所述第二腔镜阵列(5)和所述整形模块(6)均固定在热沉(7)上。

2.根据权利要求1所述列阵波导全固态激光器，其特征在于，所述第一波导阵列(3)为掺钕钒酸钇波导阵列，所述第二波导阵列(4)为周期极化铌酸锂波导阵列；所述掺钕钒酸钇波导阵列和所述周期极化铌酸锂波导阵列的相邻波导之间的间距相等。

3.根据权利要求2所述列阵波导全固态激光器，其特征在于，所述掺钕钒酸钇波导阵列的每个波导包括硅衬底(8)，所述硅衬底(8)上覆盖有二氧化硅包层(10)，所述二氧化硅包层(10)上设置有掺钕钒酸钇脊型波导(9)；所述掺钕钒酸钇脊型波导(9)上还覆盖有二氧化硅包层(10)；所述掺钕钒酸钇脊型波导(9)的脊处宽度为10-50微米，高度为10-50微米；所述二氧化硅包层(10)的厚度为1-20微米。

4.根据权利要求2所述列阵波导全固态激光器，其特征在于，所述周期极化铌酸锂波导阵列的每个波导包括硅衬底(8)，所述硅衬底(8)上覆盖有二氧化硅包层(10)，所述二氧化硅包层(10)上设置有周期极化铌酸锂脊形波导(11)，所述周期极化铌酸锂脊形波导(11)上覆盖有二氧化硅包层(10)；所述周期极化铌酸锂脊形波导(11)的脊处宽度为10-50微米，高度为10-50微米；所述二氧化硅包层(10)的厚度为1-20微米。

5.根据权利要求2所述列阵波导全固态激光器，其特征在于，所述周期极化铌酸锂波导阵列的极化周期根据该列阵波导全固态激光器的设计工作温度进行设置。

6.根据权利要求2所述列阵波导全固态激光器，其特征在于，所述掺钕钒酸钇波导阵列靠近所述激光二极管巴条(1)一侧镀有808纳米高透膜，另一侧镀有1064纳米增透膜和532纳米增透膜；所述周期极化铌酸锂波导阵列靠近所述掺钕钒酸钇波导阵列一侧镀有1064纳米增透膜和532纳米高反膜，另一侧镀有532纳米增透膜。

7.根据权利要求2所述列阵波导全固态激光器，其特征在于，所述第一腔镜阵列(2)和所述第二腔镜阵列(5)包含若干与所述激光二极管巴条(1)出光点对应设置的腔镜；所述第一腔镜阵列(2)的腔镜为平面镜和掺钕钒酸钇端面高反膜中的一种；所述第二腔镜阵列(5)的腔镜为平凹柱面镜和周期极化铌酸锂高反膜中的一种。

8.根据权利要求1所述列阵波导全固态激光器，其特征在于，所述激光二极管巴条(1)的每个出光点都经过光纤快轴压缩处理。

9.根据权利要求1所述列阵波导全固态激光器，其特征在于，所述整形模块(6)为柱面聚焦透镜。