[发明专利]基于镍钴多孔配位聚合物镀膜的石英晶振制备方法及基于该晶片的甲烷浓度传感器在审
申请号: | 202110414084.3 | 申请日: | 2021-04-16 |
公开(公告)号: | CN113134465A | 公开(公告)日: | 2021-07-20 |
发明(设计)人: | 窦广彬;董一德;郑嵩;夏良军 | 申请(专利权)人: | 南京晶芯光电研究院有限公司 |
主分类号: | B05D7/24 | 分类号: | B05D7/24;B05D1/00;G01N21/17 |
代理公司: | 深圳市创富知识产权代理有限公司 44367 | 代理人: | 潘霞 |
地址: | 210000 江苏省南京市经*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 多孔 配位聚合 镀膜 石英 制备 方法 晶片 甲烷 浓度 传感器 | ||
1.基于镍钴多孔配位聚合物镀膜的石英晶振制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤一:先将镍钴多孔配位聚合物制成3微米的薄膜;
步骤二:之后调试涂装设备,将涂装设备运行状态调整到4000r/min;
步骤三:在4000r/min的速度下,将该薄膜材料均匀涂装在石英晶振表面,制得带有镍钴多孔配位聚合物镀膜的石英晶振。
2.根据权利要求1所述的基于镍钴多孔配位聚合物镀膜的石英晶振制备方法,其特征在于,所述镍钴多孔配位聚合物镀膜的石英晶振用于甲烷浓度传感器进行甲烷浓度检测。
3.一种基于镍钴多孔配位聚合物镀膜石英晶振的甲烷浓度传感器,其特征在于,所述甲烷浓度传感器包括激光发射模块、激光接收模块、计时模块、温度采集模块、谐振采集模块、数据接收模块、数据处理模块、预设数据库、总控模块与信息发送模块;
所述激光发射模块用于发射出预设温度的测试激光,所述激光接收模块为镍钴多孔配位聚合物镀膜石英晶振,激光接收模块用于接收测试激光;
所述计时模块用于记录下激光发射的时长信息,所述温度采集模块用于采集激光接收模块的实时温度信息,所述谐振采集模块用于采集激光接收模块的谐振信息;
所述数据接收模块用于接收激光发射的激光信息、谐振信息、时长信息与实时温度信息,激光信息为激光发射时的激光温度信息,时长信息包括激光到位时长与激光运行时长;
所述激光信息、谐振信息、时长信息与实时温度信息均被发送到数据处理模块进行处理;
所述预设数据库中预存了不同穿透系数对应的甲烷浓度和不同的谐振频率对应的甲烷浓度信息;
所述数据处理模块接收到激光信息、时长信息与实时温度信息后对其进行处理生成实时穿透系数信息,并将实时穿透信息与实时谐振信息上传到数据库中进行匹配,匹配出甲烷浓度信息后,总控摸块控制信息发送模块将对应的甲烷浓度信息发出。
4.根据权利要求3所述的基于镍钴多孔配位聚合物镀膜石英晶振的甲烷浓度传感器,其特征在于,所述计时模块进行时间记录的过程如下:
步骤一:提取出激光发射的时间点,将其标记为时间点T1;
步骤二:在时间点T1时温度采集模块运行采集石英晶振的温度信息,将其标记为K1;
步骤三:当石英晶振的温度信息K1发生变化时,即提取出石英晶振的温度信息K1发生变化的时间点,将其标记为T2;
步骤四:计算出时间点T2与时间点T1之间的差值即得到激光到位时长Tt1差;
步骤五:提取出激光发射模块停止运行的时间点将其标记为T3,计算出激光发射模块停止运行的时间点T3与激光发射的时间点T1之间的差值得到Tt2差,即得到激光运行时长Tt2差,当Tt2差为预设时长时,即此次计时有效,当Tt2差为非预设时长时,即此次计时无效。
5.根据权利要求3所述的基于镍钴多孔配位聚合物镀膜石英晶振的甲烷浓度传感器,其特征在于,所述数据处理模块处理出穿透系数的具体过程如下:
S1:提取出激光发射模块发射出激光的预设温度,将其标记为W1,激光发射模块的运行时长为激光运行时长为预设值;
S2:温度采集模块运行采集激光发射到石英晶振上预设时长后,石英晶振的实时温度信息,将其标记为W2;
S3:计算出激光的预设温度W1与实时温度W2与之间的差值得到温度差W差;
步骤四:提取出此时激光到位时长将其标记为P,计算出温度差W差与激光到位时长P之间的比值得到Wp比,即得到实时穿透系数。
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