[发明专利]一种改进的载气团簇源发生方法与装置

权利要求书

1.一种载气团簇源装置，用于向目标提供团簇，其特征是，包括：用于产生簇束的束源装置，所述束源装置包括用于发射原子束的蒸发源装置和气体混合室，其中载气与原子束混合以形成具有与原子团混合的原子簇的簇束；载气流量调节装置，用于在形成簇之后调节簇束，使得基本上所有簇都处于液态；发射装置，其在撞击目标之前以几乎所有的集群处于液态的方式将调节后的集群束的集群发射到目标。

2.根据权利要求1所述的簇源装置，其特征是，所述调节装置包括用于调节所述簇的温度的装置。

3.根据权利要求1所述的簇源装置，其特征是，所述调节装置是簇束通过的漂移管；所述调节装置还包括用于所述漂移管的加热器。

4.根据权利要求1所述的团簇源，其特征是，所述蒸发源是坩埚，并且其中具有用于发射原子束的孔；具有用于其的加热器。

5.根据权利要求1所述的簇源装置，其特征是，所述传输装置包括用于从簇束中去除至少一部分载气的装置；用于从簇束中去除一部分载气。

6.根据权利要求1所述的簇源装置，其特征是，所述传输装置包括膨胀喷嘴。

7.根据权利要求1所述的簇源装置，其特征是，所述传输装置包括撇渣器。

8.一种载气簇源装置，其特征是，包括：束源，其包括气体混合室和坩埚，所述坩埚将簇状材料的原子流发射到所述混合室中，其中原子流和载气混合，使得簇状材料的簇状束与载体混合形成气体；

漂移管，簇状束和载气在离开所述束源后通过；

用于加热所述漂移管的加热器；和喷嘴，簇状束和载气在离开所述漂移管后通过；

所述漂移管的长度是所述漂移管的直径的大约一倍至大约五倍；

还包括冷却管，所述簇束和载气在进入所述漂移管之前穿过所述冷却管，所述冷却管位于所述漂移管与所述束源之间。

9.一种提供高质量的聚束束以撞击目标形成载气簇源的方法，其特征是，包括以下步骤：通过将载气与原子流混合形成簇束；

调节簇束中的簇，使得基本上所有簇都处于液态；和发射调节过的簇束到目标，基本上所有簇都在撞击目标之前处于液态；

所述载气是惰性气体；

所述调节步骤通过将所述簇加热至其中所述簇处于冷凝状态但没有结晶顺序的温度来完成；

其中所述调节团簇的步骤包括使团簇通过漂移管以加热团簇。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征是，所述传输步骤包括从所述簇中分离并去除至少一部分载气的步骤。