[发明专利]一种真空蒸发镀膜方法

说明书

本发明公开一种真空蒸发镀膜方法，包括：将基膜放置在放卷辊上，启动真空系统抽真空；当镀膜腔室的真空度达到工艺要求时，启动卷绕系统、条形蒸发源、智能屏蔽系统和控制系统；控制系统控制智能屏蔽系统及条形蒸发源的智能材料控制系统和滑动式电极系统，根据工艺要求在蒸发镀膜基底下方形成1个或多个蒸发镀膜区域，通过真空蒸发镀膜在连续走膜的蒸发镀膜基底上形成膜层；在真空蒸发镀膜过程中，控制系统可控制智能屏蔽系统以及条形蒸发源的智能材料控制系统和滑动式电极系统之间的互相配合，在线连续地调控蒸发镀膜基底下方的蒸发镀膜区域，在蒸发镀膜基底表面形成在线可调控的膜层。该真空蒸发镀膜方法可应用于制备新能源动力电池。

技术领域

本发明属于新能源动力电池技术领域，具体涉及制备新能源动力电池使用的一种真空蒸发镀膜方法。

背景技术

卷绕镀膜具有生产速度快、效率高、适合大面积制备等特点，广泛应用于包装、电子、建筑、激光防伪以及其它功能薄膜的制备等领域。近年来，随着新能源动力电池技术的迅猛发展，卷绕柔性镀膜产品的需求获得了新的增长，也对卷绕镀膜技术及设备提出了更高的要求。

真空蒸发镀膜是卷绕镀膜产品制备采用的主要镀膜方法之一，工艺技术相对比较成熟。但在现有的蒸发镀膜技术中采用的蒸发源的蒸发区域比较固定，当操作者根据工艺要求需要对蒸发区域进行调整时，要在设备停止工作时打开设备对屏蔽板或蒸发源进行离线调整，无法及时地进行灵活的调控，难以满足新能源动力电池薄膜产品灵活多变的工艺要求。另一方面，常规的真空蒸发镀膜设备及方法一般自动化水平不高，难以适应目前智能化的工业潮流。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明提供一种真空蒸发镀膜方法，采用一种智能蒸发镀膜机来实施，该真空蒸发镀膜方法可应用于制备新能源动力电池。

该真空蒸发镀膜方法主要包括：

（1）将基膜放置在智能蒸发镀膜机的放卷辊上，关闭真空室，启动真空系统对镀膜腔室抽真空；

（2）当镀膜腔室的真空度达到工艺要求时，启动智能蒸发镀膜机的卷绕系统、条形蒸发源、智能屏蔽系统和控制系统；控制系统控制智能屏蔽系统及条形蒸发源的智能材料控制系统和滑动式电极系统，根据工艺要求在蒸发镀膜基底下方形成1个或多个蒸发镀膜区域，通过真空蒸发镀膜在连续走膜的蒸发镀膜基底上形成膜层；所述的蒸发镀膜基底为柔性基膜；

（3）在真空蒸发镀膜过程中，根据工艺需要，控制系统可控制智能屏蔽系统以及条形蒸发源的智能材料控制系统和滑动式电极系统之间的互相配合，在线连续地调控蒸发镀膜基底下方的蒸发镀膜区域，在蒸发镀膜基底表面形成在线可调控的膜层。

智能材料控制系统包括推料隔板、支撑滑动机构和滑动驱动机构；推料隔板与坩埚的材料容腔内壁紧密接触，并可在滑动驱动机构的驱动下在材料容腔内移动；推料隔板有1个以上，可将材料容腔分隔成2个以上的容腔区域；滑动式电极系统包括滑动式电极块，滑动式电极块有2个以上，分别与蒸发源电源的正负极相连接，通过控制滑动式电极块的滑动可在坩埚的材料容腔内形成1个或多个可调整的加热区域；智能材料控制系统还包括隔板位置传感器和隔板移动控制器，隔板位置传感器设置在支撑滑动机构上；滑动式电极系统还包括电极块位置传感器和电极块控制器，均设置在滑动式电极块上。2个以上的容腔区域内的蒸发材料根据需要可以相同或不同。

智能屏蔽系统位于条形蒸发源与蒸发镀膜基底之间，包括屏蔽条、屏蔽条驱动机构和屏蔽控制器；屏蔽条为2个以上，每个屏蔽条均可在屏蔽条驱动机构的驱动下独立伸出或缩回；一组以上的屏蔽条伸出，可坩埚上方不同区域形成部分或完全的蒸发屏蔽。