[发明专利]基于微纳3D打印的太赫兹超材料吸波器制造方法有效
| 申请号： | 202110421320.4 | 申请日： | 2021-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN113193380B | 公开（公告）日： | 2023-10-27 |
| 发明（设计）人： | 张留洋;李胜男;陈雪峰;王中兴;徐亚飞;沈忠磊;韩东海 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | H01Q17/00 | 分类号： | H01Q17/00 |
| 代理公司： | 北京前审知识产权代理有限公司 11760 | 代理人： | 张波涛;张扬子 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 打印 赫兹 材料 吸波器 制造 方法 | ||
1.一种基于微纳3D打印的太赫兹超材料吸波器制造方法，其特征在于，其包括以下步骤：
对太赫兹超材料吸波器三维建模形成三维模型，所述三维模型由超材料结构单元周期阵列组成，
切片所述三维模型，以在第一金属层上微纳3D打印形成三维结构，
基于定向性沉积工艺在所述三维结构的顶表面沉积预定厚度的第二金属层。
2.根据权利要求1所述的一种基于微纳3D打印的太赫兹超材料吸波器制造方法，其特征在于，优选的，超材料结构单元包括以下谐振形状及其组合：圆形、圆环、方形、开口环以及十字型。
3.根据权利要求1所述的一种基于微纳3D打印的太赫兹超材料吸波器制造方法，其特征在于，第一金属层包括以下材料及其组合：金、银、铜、铝、锌、镍、钨、铁、铬、钛、铂及其合金或聚合物与化合物。
4.根据权利要求1所述的一种基于微纳3D打印的太赫兹超材料吸波器制造方法，其特征在于，微纳3D打印形成树脂三维结构。
5.根据权利要求1所述的一种基于微纳3D打印的太赫兹超材料吸波器制造方法，其特征在于，第二金属层包括以下材料及其组合：金、银、铜、铝、锌、镍、钨、铁、铬、钛、铂及其合金或聚合物与化合物。
6.根据权利要求1所述的一种基于微纳3D打印的太赫兹超材料吸波器制造方法，其特征在于，定向性沉积工艺包括真空蒸发镀膜或真空溅射镀膜。
7.根据权利要求1所述的一种基于微纳3D打印的太赫兹超材料吸波器制造方法，其特征在于，所述超材料结构单元为周期阵列结构。
8.根据权利要求7所述的一种基于微纳3D打印的太赫兹超材料吸波器制造方法，其特征在于，所述超材料结构单元为十字型结构，其长为112μm，宽为25μm，高为25μm，周期为280μm，第二金属层的厚度为200nm的金层。
9.根据权利要求7所述的一种基于微纳3D打印的太赫兹超材料吸波器制造方法，其特征在于，所述超材料结构单元为宽带吸波器单元，所述宽带吸波器单元包括四种十字型结构，其长分别为130μm、140μm、150μm和160μm、，宽均为25μm，高均为25μm，周期为390μm。
10.根据权利要求1所述的一种基于微纳3D打印的太赫兹超材料吸波器制造方法，其特征在于，所述第二金属层与所述第一金属层材料相同或不相同。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安交通大学，未经西安交通大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202110421320.4/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
