[发明专利]一种利用SPR相移干涉检测二维空间相位信息的方法

权利要求书

1.一种利用SPR相移干涉检测二维空间相位信息的方法，其特征在于：氦氖激光器发射入射激光，入射激光到达第一偏振器，第一偏振器产生p-偏振光和s-偏振光，随后p-偏振光和s-偏振光进入液晶可变延迟器，液晶可变延迟器将p-偏振光调整到快轴上，将s-偏振光调整到慢轴上，p-偏振光激发表面等离子体激元时,引入与角度和厚度相关的相移，而s-偏振光不会激发表面等离子体激元，两者产生相位差，由此产生空间相移图案；空间相移图案通过扩束器进行扩展和准直后到达与其匹配的数字显微镜的微镜阵列，经过微镜阵列的相移图案被棱镜折射后到达第二偏振器，第二偏振器将p-偏振光或s-偏振光区分以选择对应的采样或参考干涉图案，p-偏振光或s-偏振光最后进入CCD中，CCD捕获与相移相关联的干涉图案并显示为数字图像；使用基于二维傅里叶变换和确定域空间频率的算法从干涉图案中得到水平和垂直方向上的域空间频率，进而获得相移，最终通过相移得到二维空间相位信息。

2.根据权利要求1所述的一种利用SPR相移干涉检测二维空间相位信息的方法，其特征在于：所述液晶可变延迟器内部的控制器的快轴与水平方向呈45°，用于对p-偏振光和s-偏振光的快速切换。

3.根据权利要求1所述的一种利用SPR相移干涉检测二维空间相位信息的方法，其特征在于：所述液晶可变延迟器内部的控制器调制为周期T为100ms且延迟范围为±％/4的正弦函数。

4.根据权利要求1所述的一种利用SPR相移干涉检测二维空间相位信息的方法，其特征在于：所述氦氖激光器的光源波长为632.8nm。

5.根据权利要求1所述的一种利用SPR相移干涉检测二维空间相位信息的方法，其特征在于：所述微镜阵列包括基座，基座上设有608×684个45°倾斜设置的方形铝镜，底部长度为7.64μm；所述方形铝镜与基座铰接。

6.根据权利要求5所述的一种利用SPR相移干涉检测二维空间相位信息的方法，其特征在于：所述方形铝镜转动范围内与基座的夹角为-12°至+12°。