[发明专利]全自动化学液喷雾及DI水蒸汽组合清洗片盒装置及其方法

说明书

本发明公开了全自动化学液喷雾及DI水蒸汽组合清洗片盒装置，用于清洗片盒本体，片盒本体的底部装载固定有承载架，包括箱体，箱体内设置有通过多个隔板分隔出来、且按照片盒本体的清洗移动方向设置的上料室、清洗室、冲洗室、烘干室；清洗室内、冲洗室内、烘干室内分别设置有清洗管路、冲洗管路和烘干管路；清洗室和冲洗室之间、冲洗室和烘干室之间均设置有隔离门；箱体内还安装有化学液喷雾罐和水蒸汽发生器，化学液喷雾罐和水蒸汽发生器均连通到清洗管路上，冲洗管路连通有水泵，而烘干管路连通有热风机；本发明还公开了全自动化学液喷雾及DI水蒸汽组合清洗片盒的方法，包括以下步骤：S1系统自检；S2片盒清洗；S3片盒冲洗；S4片盒烘干。

技术领域

本发明涉及片盒清洗领域，尤其涉及全自动化学液喷雾及DI水蒸汽组合清洗片盒装置全自动化学液喷雾及DI水蒸汽组合清洗片盒的方法。

背景技术

目前，在集成电路、太阳能及LED行业，一般采用人工方式对使用后的相应承载的片盒进行清洗，耗时耗人工。较优的，也有采用自动化设备对片盒进行高压喷淋的清洗方式，这种清洗方式较人工清洗方式明显提高了效率，并且减少了人为的二次污染，但这种高压喷淋清洗，会造成大量的化学液(包括DI去离子水)的浪费，间接地增加了生产成本，如何在满足清洗要求的前提下做到低能耗，高效率，成为了相应片盒清洗的关键。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的全自动化学液喷雾及DI水蒸汽组合清洗片盒装置及其方法。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

全自动化学液喷雾及DI水蒸汽组合清洗片盒装置，用于清洗片盒本体，所述片盒本体的底部装载固定有承载架，包括箱体，所述箱体内设置有通过多个隔板分隔出来、且按照所述片盒本体的清洗移动方向设置的上料室、清洗室、冲洗室、烘干室；所述清洗室内、所述冲洗室内、所述烘干室内分别设置有清洗管路、冲洗管路和烘干管路；所述清洗室和所述冲洗室之间、所述冲洗室和所述烘干室之间均设置有隔离门；所述箱体内还安装有化学液喷雾罐和水蒸汽发生器，所述化学液喷雾罐和所述水蒸汽发生器均连通到所述清洗管路上，所述冲洗管路连通有水泵，而所述烘干管路连通有热风机。

优选的，所述箱体内还设置有下料室，所述上料室和所述下料室分别对应设置在所述清洗室和所述烘干室的正下方；所述清洗室、所述冲洗室、所述烘干室均位于同一排，且清洗室和冲洗室之间，冲洗室和烘干室之间均安装有运送所述承载架的水平传送带。

优选的，所述化学液喷雾罐内部设置有第一液位计；所述化学液喷雾罐的顶部设置有排气口，而左侧顶部设置有第一补液口，且右侧底部设置有排液口；所述化学液喷雾罐的外部安装有增压计量泵，所述增压计量泵上安装有雾化喷嘴；所述清洗管路接通所述雾化喷嘴。

优选的，所述水蒸汽发生器内安装有多个加热管；所述水蒸汽发生器的顶部设置有紧急排气口，而左侧顶部和右侧顶部分别设置有蒸汽出口和第二补液口，且右侧底部设置有排污口；所述水蒸汽发生器的外部连通有第二液位计；所述蒸汽出口连通所述清洗管路。

优选的，所述上料室、所述清洗室、所述冲洗室、所述烘干室、所述下料室的摆放设置呈U字形。

优选的，所述清洗管路底部、所述冲洗管路底部、所述烘干管路底部分别安装有对准所述片盒本体处理工位的清洗压力喷嘴、冲洗高压喷嘴、烘干压力喷嘴。

优选的，所述上料室和所述下料室内设置有交叉曲臂式的升降台。