[发明专利]一种三层板一体吹胀成型的液冷散热模组及其制造方法

权利要求书

1.一种三层板一体吹胀成型的液冷散热模组，其特征在于，包括液冷板、散热基板及均热板；所述液冷板、散热基板及均热板三层板一体吹胀成型；所述均热板与散热基板形状对应且贴合，且均热板与散热基板之间构成相变工质流道；所述液冷板贴合于散热基板的另一面，且液冷板与散热基板之间构成液冷流道。

2.如权利要求1所述的三层板一体吹胀成型的液冷散热模组，其特征在于，

所述液冷板1上设有冷却液进口及冷却液出口；

所述均热板上设有抽注口和填粉口；

所述相变工质流道包括受热段、折弯段和冷却段；所述受热段与冷却段通过折弯段连通。

3.如权利要求1所述的三层板一体吹胀成型的液冷散热模组，其特征在于，

所述冷液板还包括位于液冷流道之间的若干支撑结构；

所述均热板还包括位于工质流道之间的若干支撑结构；

位于液冷通道之间的若干支撑结构及位于工质流道之间的若干支撑结构形状均为圆形和槽型。

4.如权利要求2所述的三层板一体吹胀成型的液冷散热模组，其特征在于，所述受热段、折弯段及冷却段包括若干个，受热段、折弯段及冷却段为连通或多组分别独立。

5.如权利要求2所述的三层板一体吹胀成型的液冷散热模组，其特征在于，所述均热板的折弯段为平行直流道，该平行直流道包括若干个，均热板内部烧结有毛细结构。

6.如权利要求1所述的三层板一体吹胀成型的液冷散热模组，其特征在于，所述液冷流道为平行通道、蛇形通道、支撑阵列通道的一种或者多种复合的通道。

7.如权利要求1所述的三层板一体吹胀成型的液冷散热模组，其特征在于，所述液冷散热模组为平面状或各种空间形状。

8.如权利要求1所述的三层板一体吹胀成型的液冷散热模组，其特征在于，

所述散热模组采用的冷却液为纯净水、矿物油或专用冷却液中的任意一种；

所述散热模组采用的相变工质为去离子水或各种制冷剂的一种或多种。

9.如权利要求1-8任意一项所述的三层板一体吹胀成型的液冷散热模组的制造方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

步骤S1采用铝板分别作为均热板、散热基板和液冷板，根据均热板及液冷板流道形状分别在均热板和液冷板印制阻轧剂；

步骤S2依次放置均热板、散热基板、液冷板，将放置好的均热板、散热基板和液冷板先热轧后冷轧，使三块金属板形成复合板；

步骤S3将复合板退火消除应力后通入高压气体，在模具和高压气体作用下，均热板与散热基板之间印有阻轧剂部分胀起形成工质流道，液冷板与散热基板之间印有阻轧剂部分胀起形成液冷流道；

步骤S4在均热板端焊接工艺管做作为抽注口以及填粉口，在液冷板端焊接工艺管作为冷却液的进出口；

步骤S5将烧结芯棒从填粉工艺口中伸入至工质流道中，通过夹具定位保证烧结芯棒与均热板内壁留有一定空隙；将烧结粉末从填粉工艺口中灌入工质流道中，充分振荡使得烧结粉末填满烧结芯棒与均热板之间的空隙中，将完成填粉后的均热板送至烧结箱中高温烧结，烧结完成后取出烧结芯棒；

步骤S6先对均热板的填粉口进行封口焊接，然后在抽注口抽真空及灌注相变工质，最后对抽注口封口焊接。