[发明专利]一种考虑统计修正的荧光染色薄膜厚度测量标定方法有效

专利信息
申请号: 202110429857.5 申请日: 2021-04-21
公开(公告)号: CN113029013B 公开(公告)日: 2022-03-29
发明(设计)人: 王文中;陈虹百;梁鹤;赵自强 申请(专利权)人: 北京理工大学
主分类号: G01B11/06 分类号: G01B11/06;G06F17/15
代理公司: 北京理工大学专利中心 11120 代理人: 代丽;郭德忠
地址: 100081 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 考虑 统计 修正 荧光 染色 薄膜 厚度 测量 标定 方法
【权利要求书】:

1.一种考虑统计修正的荧光染色薄膜厚度测量标定方法,其特征在于,以若干不同标准厚度薄膜的荧光照片作为样本,使用分组平均拟合法或最小二乘法,建立的薄膜厚度与荧光强度之间的关系式,构建标定系数方程组并求解,得到标定系数表;对于待测厚度薄膜的荧光照片,基于标定系数表以及薄膜厚度与荧光强度之间的关系式,计算得到每个像素单元对应的厚度;

使用分组平均拟合法时,使用的荧光强度的基函数为:

建立的薄膜厚度与荧光强度之间的关系式为:

其中,i、j分别为像素单元所在行和列的编号;n为基函数的阶次;N为基函数的总阶数;k为图片编号,k=1.2.3…K,K为图片总数,要求K=N+1;为第m组第k张图片的第i行、第j列像素单元对应的薄膜厚度;为第m组第k张图片的第i行、第j列像素单元对应的第n阶基函数项,其为以第m组第k张图片的荧光强度g(k,m)为自变量的函数;为第m组图片的第i行、第j列像素单元对应的第n阶标定系数;

构建标定系数线性方程组如下:

求解标定系数线性方程组后,对各个样本组得到的标定系数计算均值如下:

得到所有像素单元的标定系数数组,得到标定系数表;

其中,M为总组数,为计算均值后得到的第i行、第j列像素单元对应的第n阶标定系数;

待测像素单元的薄膜厚度计算方式为:

其中,为待测图片的第i行、第j列像素单元对应的第n阶基函数项,hi,j为待测图片的第i行、第j列像素单元对应的薄膜厚度;

使用最小二乘法进行非线性拟合时,建立的薄膜厚度与荧光强度之间的关系式为:

构建最小二乘法标定系数线性方程组为:

其中,i、j分别为像素单元所在行和列的编号;n为基函数的阶次;N为考虑使用的基函数的总阶数;k为图片编号;k=1.2.3…K,K为图片总数,要求KN;为第k张图片的第i行、第j列像素单元对应的薄膜厚度;为第k张图片的第i行、第j列像素单元对应的荧光强度;为第i行、第j列像素单元对应的第n阶标定系数。

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