[发明专利]一种考虑统计修正的荧光染色薄膜厚度测量标定方法有效
申请号: | 202110429857.5 | 申请日: | 2021-04-21 |
公开(公告)号: | CN113029013B | 公开(公告)日: | 2022-03-29 |
发明(设计)人: | 王文中;陈虹百;梁鹤;赵自强 | 申请(专利权)人: | 北京理工大学 |
主分类号: | G01B11/06 | 分类号: | G01B11/06;G06F17/15 |
代理公司: | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人: | 代丽;郭德忠 |
地址: | 100081 *** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 考虑 统计 修正 荧光 染色 薄膜 厚度 测量 标定 方法 | ||
1.一种考虑统计修正的荧光染色薄膜厚度测量标定方法,其特征在于,以若干不同标准厚度薄膜的荧光照片作为样本,使用分组平均拟合法或最小二乘法,建立的薄膜厚度与荧光强度之间的关系式,构建标定系数方程组并求解,得到标定系数表;对于待测厚度薄膜的荧光照片,基于标定系数表以及薄膜厚度与荧光强度之间的关系式,计算得到每个像素单元对应的厚度;
使用分组平均拟合法时,使用的荧光强度的基函数为:
建立的薄膜厚度与荧光强度之间的关系式为:
其中,i、j分别为像素单元所在行和列的编号;n为基函数的阶次;N为基函数的总阶数;k为图片编号,k=1.2.3…K,K为图片总数,要求K=N+1;为第m组第k张图片的第i行、第j列像素单元对应的薄膜厚度;为第m组第k张图片的第i行、第j列像素单元对应的第n阶基函数项,其为以第m组第k张图片的荧光强度g(k,m)为自变量的函数;为第m组图片的第i行、第j列像素单元对应的第n阶标定系数;
构建标定系数线性方程组如下:
求解标定系数线性方程组后,对各个样本组得到的标定系数计算均值如下:
得到所有像素单元的标定系数数组,得到标定系数表;
其中,M为总组数,为计算均值后得到的第i行、第j列像素单元对应的第n阶标定系数;
待测像素单元的薄膜厚度计算方式为:
其中,为待测图片的第i行、第j列像素单元对应的第n阶基函数项,hi,j为待测图片的第i行、第j列像素单元对应的薄膜厚度;
使用最小二乘法进行非线性拟合时,建立的薄膜厚度与荧光强度之间的关系式为:
构建最小二乘法标定系数线性方程组为:
其中,i、j分别为像素单元所在行和列的编号;n为基函数的阶次;N为考虑使用的基函数的总阶数;k为图片编号;k=1.2.3…K,K为图片总数,要求KN;为第k张图片的第i行、第j列像素单元对应的薄膜厚度;为第k张图片的第i行、第j列像素单元对应的荧光强度;为第i行、第j列像素单元对应的第n阶标定系数。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京理工大学,未经北京理工大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202110429857.5/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种磁性材料的自动化分料装置
- 下一篇:一种柔性制造车间优化调度方法及系统