[发明专利]原位双倾单轴拉伸纳米线装置及其制作方法有效
申请号: | 202110430040.X | 申请日: | 2021-04-21 |
公开(公告)号: | CN113138125B | 公开(公告)日: | 2023-03-14 |
发明(设计)人: | 王立华;李东伟;马炎;韩晓东;邓青松 | 申请(专利权)人: | 北京工业大学 |
主分类号: | G01N3/08 | 分类号: | G01N3/08;G01N3/06;G01N1/28;G01N1/32 |
代理公司: | 北京东方盛凡知识产权代理有限公司 11562 | 代理人: | 张雪 |
地址: | 100124 *** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 原位 双倾单轴 拉伸 纳米 线装 及其 制作方法 | ||
1.一种原位双倾单轴拉伸纳米线装置,其特征在于,包括:
金属环(1),所述金属环(1)的内侧壁上设置有平台(2);
金属片组(3),两组所述金属片组(3)平行间隔设置在所述金属环(1)的内部,并且各组所述金属片组(3)的一端均固定在所述平台(2)上,各组所述金属片组(3)的另一端均为自由端,每组所述金属片组(3)均包括一个第一金属片(4)以及与所述第一金属片(4)固定贴合的第二金属片(5),两组所述金属片组(3)中的所述第一金属片(4)相互靠近,并且所述第一金属片(4)的热膨胀系数大于所述第二金属片(5)的热膨胀系数;
固定件,所述固定件包括两个固定底座(6)以及将两个所述固定底座(6)连接在一起的纳米线(7),所述固定件将两组所述金属片组(3)的自由端连接在一起;
两个所述固定底座(6)与两组所述金属片组(3)一一对应设置,并且各个所述固定底座(6)均垂直固定连接在相对应的所述金属片组(3)上,并且两个所述固定底座(6)在相互靠近的一端均设置为具有梯度的梯形结构(8);
所述纳米线(7)以及所述纳米线(7)两端的两个所述固定底座(6)为一体式结构;
所述金属片组(3)的长度为1mm-1.2mm,两组所述金属片组(3)之间的间距为100μm-150μm。
2.根据权利要求1所述的原位双倾单轴拉伸纳米线装置,其特征在于,所述第一金属片(4)的材质为锰。
3.根据权利要求1所述的原位双倾单轴拉伸纳米线装置,其特征在于,所述第二金属片(5)的材质为镍。
4.根据权利要求1所述的原位双倾单轴拉伸纳米线装置,其特征在于,所述金属环(1)的材质为钼。
5.根据权利要求1所述的原位双倾单轴拉伸纳米线装置,其特征在于,所述金属环(1)的外径为2mm-4mm,内径为1mm-3mm,厚度为30μm-50μm。
6.根据权利要求1所述的原位双倾单轴拉伸纳米线装置,其特征在于,所述固定件的长度为200μm-300μm,厚度为3μm-5μm,宽度为100μm-200μm。
7.一种原位双倾单轴拉伸纳米线装置的制作方法,基于权利要求1-6任意一项所述的原位双倾单轴拉伸纳米线装置,其具体步骤为:
a.将两片热膨胀系数不同的第一金属片(4)与第二金属片(5)通过焊压贴合在一起,从而得到两组焊压贴合好的金属片组(3);
b.将两组焊压贴合好的所述金属片组(3)平行间隔焊接固定在金属环(1)内部的平台(2)上;
c.运用聚焦离子束技术,从块体材料上加工出固定底座(6)以及所述固定底座(6)上具有梯度的梯形结构(8),并且将所述梯形结构(8)的表面进行抛光处理;
d运用聚焦离子束技术与纳米减薄仪结合,从所述梯形结构(8)中加工出用于变形的纳米线(7),并将所述纳米线(7)加工成进行原子尺度观察的样品;
e.所述固定底座(6)在聚焦离子束系统中沉积出Pt-碳混合物,并将其垂直焊接在所述金属片组(3)的自由端上。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京工业大学,未经北京工业大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202110430040.X/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。