[发明专利]原位双倾单轴拉伸纳米线装置及其制作方法有效

专利信息
申请号: 202110430040.X 申请日: 2021-04-21
公开(公告)号: CN113138125B 公开(公告)日: 2023-03-14
发明(设计)人: 王立华;李东伟;马炎;韩晓东;邓青松 申请(专利权)人: 北京工业大学
主分类号: G01N3/08 分类号: G01N3/08;G01N3/06;G01N1/28;G01N1/32
代理公司: 北京东方盛凡知识产权代理有限公司 11562 代理人: 张雪
地址: 100124 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 原位 双倾单轴 拉伸 纳米 线装 及其 制作方法
【权利要求书】:

1.一种原位双倾单轴拉伸纳米线装置,其特征在于,包括:

金属环(1),所述金属环(1)的内侧壁上设置有平台(2);

金属片组(3),两组所述金属片组(3)平行间隔设置在所述金属环(1)的内部,并且各组所述金属片组(3)的一端均固定在所述平台(2)上,各组所述金属片组(3)的另一端均为自由端,每组所述金属片组(3)均包括一个第一金属片(4)以及与所述第一金属片(4)固定贴合的第二金属片(5),两组所述金属片组(3)中的所述第一金属片(4)相互靠近,并且所述第一金属片(4)的热膨胀系数大于所述第二金属片(5)的热膨胀系数;

固定件,所述固定件包括两个固定底座(6)以及将两个所述固定底座(6)连接在一起的纳米线(7),所述固定件将两组所述金属片组(3)的自由端连接在一起;

两个所述固定底座(6)与两组所述金属片组(3)一一对应设置,并且各个所述固定底座(6)均垂直固定连接在相对应的所述金属片组(3)上,并且两个所述固定底座(6)在相互靠近的一端均设置为具有梯度的梯形结构(8);

所述纳米线(7)以及所述纳米线(7)两端的两个所述固定底座(6)为一体式结构;

所述金属片组(3)的长度为1mm-1.2mm,两组所述金属片组(3)之间的间距为100μm-150μm。

2.根据权利要求1所述的原位双倾单轴拉伸纳米线装置,其特征在于,所述第一金属片(4)的材质为锰。

3.根据权利要求1所述的原位双倾单轴拉伸纳米线装置,其特征在于,所述第二金属片(5)的材质为镍。

4.根据权利要求1所述的原位双倾单轴拉伸纳米线装置,其特征在于,所述金属环(1)的材质为钼。

5.根据权利要求1所述的原位双倾单轴拉伸纳米线装置,其特征在于,所述金属环(1)的外径为2mm-4mm,内径为1mm-3mm,厚度为30μm-50μm。

6.根据权利要求1所述的原位双倾单轴拉伸纳米线装置,其特征在于,所述固定件的长度为200μm-300μm,厚度为3μm-5μm,宽度为100μm-200μm。

7.一种原位双倾单轴拉伸纳米线装置的制作方法,基于权利要求1-6任意一项所述的原位双倾单轴拉伸纳米线装置,其具体步骤为:

a.将两片热膨胀系数不同的第一金属片(4)与第二金属片(5)通过焊压贴合在一起,从而得到两组焊压贴合好的金属片组(3);

b.将两组焊压贴合好的所述金属片组(3)平行间隔焊接固定在金属环(1)内部的平台(2)上;

c.运用聚焦离子束技术,从块体材料上加工出固定底座(6)以及所述固定底座(6)上具有梯度的梯形结构(8),并且将所述梯形结构(8)的表面进行抛光处理;

d运用聚焦离子束技术与纳米减薄仪结合,从所述梯形结构(8)中加工出用于变形的纳米线(7),并将所述纳米线(7)加工成进行原子尺度观察的样品;

e.所述固定底座(6)在聚焦离子束系统中沉积出Pt-碳混合物,并将其垂直焊接在所述金属片组(3)的自由端上。

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