[发明专利]一种电子级三氯化硼提纯系统的杂质气体检测装置及方法

权利要求书

1.一种电子级三氯化硼提纯系统的杂质气体检测装置，其特征在于：包括粗品存储罐、第一管路、第二管路、第一傅里叶红外光谱检测系统、第一缓冲罐、第一真空泵、三氯化硼提纯系统、第三管路、第二傅里叶红外光谱检测系统、第二缓冲罐、第二真空泵和碱液筒；所述第一管路、第二管路并联设置，且所述第一管路进口、第二管路进口通过三通阀与所述粗品存储罐的出料口连通；所述第一傅里叶红外光谱检测系统包括第一样品池，所述第一样品池的进料口与所述第一管路出口连通，所述第一缓冲罐的进料口与所述第一样品池的出料口连通，所述第一真空泵的进料口与所述第一缓冲罐的出料口连通，所述第一真空泵的出料口连通至所述碱液筒内；所述三氯化硼提纯系统的进料口与所述第二管路出口连通；所述第三管路进口与所述三氯化硼提纯系统的出料口连通；所述第二傅里叶红外光谱检测系统包括第二样品池，所述第二样品池的进料口与所述第三管路出口连通，所述第二缓冲罐的进料口与所述第二样品池的出料口连通，所述第二真空泵的进料口与所述第二缓冲罐的出料口连通，所述第二真空泵的出料口连通至所述碱液筒内；

所述第一样品池的光程为60mm，所述第二样品池的光程为10m。

2.根据权利要求1所述的一种电子级三氯化硼提纯系统的杂质气体检测装置，其特征在于：所述第一样品池的左右两侧的窗片和所述第二样品池的左右两侧的窗片均为BaF₂窗片。

3.根据权利要求2所述的一种电子级三氯化硼提纯系统的杂质气体检测装置，其特征在于：所述第一样品池和所述第二样品池内均设置有控温控压系统，且所述第一样品池和所述第二样品池内气体温度均恒定在42±0.2℃，气压均恒定为1±0.1个标准大气压。

4.根据权利要求3所述的一种电子级三氯化硼提纯系统的杂质气体检测装置，其特征在于：所述第一傅里叶红外光谱检测系统还包括第一探测器、第一FTIR光谱仪、第一红外光源、第一控制分析软件；所述第一探测器设置在所述第一样品池一侧；所述第一FTIR光谱仪设置在所述第一样品池另一侧；所述第一红外光源设置在所述第一FTIR光谱仪另一侧；所述第一控制分析软件与所述第一探测器、第一FTIR光谱仪、第一红外光源电连接。

5.根据权利要求4所述的一种电子级三氯化硼提纯系统的杂质气体检测装置，其特征在于：所述第一傅里叶红外光谱检测系统检测三氯化硼粗品中杂质气体组分及浓度范围为：CH₄：100-200ppm、CO：100-150ppm、CO₂：100-200ppm，HCl：100-300ppm、COCl₂：1-200ppm、SiCl₄：100-300ppm、SiH₂Cl₂：1-200ppm。

6.根据权利要求3所述的一种电子级三氯化硼提纯系统的杂质气体检测装置，其特征在于：所述第二傅里叶红外光谱检测系统还包括第二探测器、第二FTIR光谱仪、第二红外光源、第二控制分析软件；所述第二探测器设置在所述第二样品池一侧；所述第二FTIR光谱仪设置在所述第二样品池另一侧；所述第二红外光源设置在所述第二FTIR光谱仪另一侧；所述第二控制分析软件与所述第二探测器、第二FTIR光谱仪、第二红外光源电连接。

7.根据权利要求6所述的一种电子级三氯化硼提纯系统的杂质气体检测装置，其特征在于：所述第二傅里叶红外光谱检测系统检测三氯化硼成品中的杂质气体组分及浓度范围为：CH₄：0.01-0.5ppm、CO：0.1-0.5ppm、CO₂：0.1-2ppm、HCl：0.1-1ppm、COCl₂：0.1-1ppm、SiCl₄：0.05-2ppm、SiH₂Cl₂：0.1-1ppm。