[发明专利]一种高透稳定超疏水复眼透镜的制造方法

权利要求书

1.一种高透稳定超疏水复眼透镜的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)玻璃基板使用丙酮、酒精处理，去离子水冲洗，最后氮气吹干，将光刻胶旋涂在玻璃片上，转速1000-2000r/min旋涂40-60s，95-100℃烘5-10min；重复旋涂过程，获得18-25μm光刻胶薄膜，即样片一；

将圆孔间距40-80μm，直径5-20μm的掩膜板与样片一紧密压紧贴合，紫外曝光后，用质量分数为3‰-8‰的氢氧化钠溶液显影30-50s，流动去离子水充分清洗，氮气吹干，得样片二；

2)将PDMS本体和固化剂质量比为10:1的液态PDMS聚合物用于样片二的翻模，经过两次翻模后，得到凹微柱阵列模具，即样片三；

将NOA紫外固化胶浇灌在样片三上，覆盖玻璃片压紧后，充分紫外曝光，得到高度为18-25μm的微柱阵列，即样片四；

3)将样片四疏水处理后，利用高精度移动平台和显微成像系统在样片四微柱阵列间隙喷印1-8次微透镜阵列，样片90-100℃前烘10-20min，紫外曝光80-120s，90-100℃后烘20-40min，得微透镜和微柱阵列复合结构的样片五，即高透稳定超疏水复眼透镜。

2.根据权利要求1所述的一种高透稳定超疏水复眼透镜的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)玻璃基板使用丙酮、酒精处理，去离子水冲洗，最后氮气吹干，将光刻胶旋涂在玻璃片上，转速1500r/min旋涂45s，95℃烘5min；重复旋涂过程，获得22μm光刻胶薄膜，即样片一；

将圆孔间距50μm，直径10μm的掩膜板与样片一紧密压紧贴合，紫外曝光后，用质量分数为5‰的氢氧化钠溶液显影40s，流动去离子水充分清洗，氮气吹干，得样片二；

2)将PDMS本体和固化剂质量比为10:1的液态PDMS聚合物用于样片二的翻模，经过两次翻模后，得到凹微柱阵列模具，即样片三；

将NOA紫外固化胶浇灌在样片三上，覆盖玻璃片压紧后，充分紫外曝光后，得到高度为22μm的微柱阵列，即样片四；

3)将样片四疏水处理后，利用高精度微喷印系统在样片四微柱阵列间隙喷印1次微透镜阵列，样片90℃前烘15min，紫外曝光100s，100℃后烘30min，得微透镜和微柱阵列复合结构的样片五，即高透稳定超疏水复眼透镜。