[发明专利]基于钙钛矿量子点的阵列式紫外线探测器及其制备方法在审
申请号: | 202110437376.9 | 申请日: | 2021-04-22 |
公开(公告)号: | CN113299672A | 公开(公告)日: | 2021-08-24 |
发明(设计)人: | 胡明珠;马庆;罗向东;余洋;陈明;杨春雷;韩燕坤;张陈斌;杨佳伟 | 申请(专利权)人: | 江苏度微光学科技有限公司 |
主分类号: | H01L27/144 | 分类号: | H01L27/144;H01L27/146;H01L31/101 |
代理公司: | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人: | 郑海峰 |
地址: | 226200 江苏省苏州市相城区元和街*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 钙钛矿 量子 阵列 紫外线 探测器 及其 制备 方法 | ||
1.一种基于钙钛矿量子点的阵列式紫外线探测器,其特征在于,包括阵列式闪烁体屏和图像传感器;
所述的阵列式闪烁体屏具有阵列分布的若干密封孔,每个所述密封孔中填充有钙钛矿量子点液体,所述密封孔的密封端透光且所述密封孔的侧壁不透光;
所述的图像传感器设置于阵列式闪烁体屏的一端,用于接收钙钛矿量子点液体在紫外线辐照下产生的可见光。
2.根据权利要求1所述的基于钙钛矿量子点的阵列式紫外线探测器,其特征在于,所述的阵列式闪烁体屏包括板体、第一封装层和第二封装层,所述板体上设置有阵列分布的若干通孔,所述第一封装层和所述第二封装层分别设置于所述板体的相对两侧,以将所述通孔的两端密封,构成密封孔。
3.根据权利要求2所述的基于钙钛矿量子点的阵列式紫外线探测器,其特征在于,所述的图像传感器贴合于所述第一封装层或者所述第二封装层上。
4.根据权利要求1或2所述的基于钙钛矿量子点的阵列式紫外线探测器,其特征在于,所述密封孔的孔径范围为10~240μm。
5.根据权利要求1或2所述的基于钙钛矿量子点的阵列式紫外线探测器,其特征在于,所述的第一封装层和第二封装层为光学胶层。
6.根据权利要求1所述的基于钙钛矿量子点的阵列式紫外线探测器,其特征在于,所述的图像传感器包括阵列分布的若干光敏元和辅助电路,所述光敏元与所述密封孔一一对应,所述的光敏元用于将接收到的光信号转换为电信号,所述辅助电路用于传输电信号。
7.一种权利要求1至6任一项所述的基于钙钛矿量子点的阵列式紫外线探测器的制备方法,其特征在于,包括:
制备胶体状的钙钛矿量子点液体;
将胶体状的钙钛矿量子点液体注入到板体上阵列分布的各个通孔中,并将通孔的相对两端密封形成密封孔,其中密封孔的密封端透光且密封孔的侧壁不透光;
将板体的一侧作为紫外线辐照侧,另一侧设置图像传感器,用于接收钙钛矿量子点液体在紫外线辐照下产生的探测光。
8.根据权利要求7所述的基于钙钛矿量子点的阵列式紫外线探测器的制备方法,其特征在于,将通孔的相对两端密封形成密封孔的方法包括:
在所述板体的相对两端分别涂覆光学胶;
对光学胶进行固化处理,分别形成第一封装层和第二封装层,所述第一封装层和所述第二封装层分别将通孔的两端密封。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
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