[发明专利]基于振镜的高稳定性均匀积分球亮度源系统在审
申请号: | 202110437535.5 | 申请日: | 2021-04-22 |
公开(公告)号: | CN112964358A | 公开(公告)日: | 2021-06-15 |
发明(设计)人: | 刘志伟;徐楠;林永杰;赵伟强;刘文德;赫英威;甘海勇;林延东 | 申请(专利权)人: | 中国计量科学研究院 |
主分类号: | G01J1/08 | 分类号: | G01J1/08;G01J1/04 |
代理公司: | 北京中企鸿阳知识产权代理事务所(普通合伙) 11487 | 代理人: | 郭晶晶 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 稳定性 均匀 积分 亮度 系统 | ||
本发明涉及一种基于振镜的高稳定性均匀积分球亮度源系统,包括依次设置的激光器、光阑、偏振器、功率稳定器、振镜和积分球,振镜与信号发生器连接;激光器,用于发射激光;光阑,用于调整光束大小;偏振器,用于调整光束的偏振方向,使光束的偏振方向与功率稳定器相匹配;功率稳定器,用于稳定光束;信号发生器,用于向振镜发送变化的控制信号,使振镜形成变化光场;积分球上设有光束入口、光束出口,光束入口与光束出口在同一直线上,积分球的光束出口处设有辐射亮度计,辐射亮度计放置在电动平移台上,积分球的光束出口处设有监视探测器,监视探测器与电压表连接。本发明将振镜与积分球相结合能够有效的抑制散斑,具有良好的稳定性和均匀性。
技术领域
本发明涉及积分球亮度源技术领域,特别是涉及一种基于振镜的高稳定性均匀积分球亮度源系统。
背景技术
积分球光源因为其良好的均匀性、余弦特性和稳定性,被广泛应用于光学定标领域。随着相关应用领域的发展,使用积分球作为主要装置的定标系统精度也在不断地提高。但是积分球由于其构造的原因,出射光会存在散斑效应,这种散斑效应会影响积分球的稳定性和均匀性。
为了解决这种影响,研究者们发明了使用步进电机控制积分球内壁旋转,以及使用柔性铰链震动积分球等装置,皆取得了不错的效果。但是对于步进电机控制积分球内壁旋转的方式,一般是将积分球内壁变为两个独立半球发生相对转动来抑制散斑。这种方法由于半球间的不断地机械运动会对积分球造成磨损,使部分区域反射效果降低,减少使用寿命,严重的还存在漏光问题;另外,这种方式会破坏积分球完整性,其性能会有所降低。对于使用柔性铰链震动积分球球体的装置,因为球体本身在震动,所以入光口和出光口也在不停震动,入射光束很难一直保证全部入射进积分球;同样的,积分球出射光束也在不停振动,稳定性和均匀性都无法保证。上述两种装置,不管是使用电机还是铰链,均有比较复杂的机械装置,需要讲究机械配合,安装调试不方便。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种基于振镜的高稳定性均匀积分球亮度源系统,以解决背景技术中所提到的问题。
本发明提供一种基于振镜的高稳定性均匀积分球亮度源系统,包括依次设置的激光器、光阑、偏振器、功率稳定器、振镜和积分球,所述振镜与信号发生器连接;
所述激光器,用于发射激光;
所述光阑,用于调整光束大小;
所述偏振器,用于调整光束的偏振方向,使光束的偏振方向与所述功率稳定器相匹配;
所述功率稳定器,用于稳定光束;
所述信号发生器,用于向所述振镜发送变化的控制信号,使所述振镜形成变化光场;
所述积分球上设有光束入口、光束出口,所述光束入口与光束出口在同一直线上。
优选的是,所述积分球的光束出口处设有辐射亮度计,所述辐射亮度计放置在电动平移台上。
在上述任一方案优选的是,所述积分球的光束出口处设有监视探测器,所述监视探测器与电压表连接。
在上述任一方案优选的是,所述积分球内设有挡板,所述挡板设于所述光束入口与光束出口之间,且所述挡板与所述积分球同心设置,所述挡板的外周与所述积分球的内周之间形成光束通道,所述挡板安装在支架上,所述支架的两端与所述积分球的内壁固定。
在上述任一方案优选的是,所述挡板设为圆形挡板。
在上述任一方案优选的是,所述振镜采用二维检流计式振镜。
与现有技术相比,本发明所具有的优点和有益效果为:
1、将振镜与积分球相结合实现均匀稳定辐射源。
2、能够有效的抑制散斑,且具有良好的稳定性和均匀性。
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