[发明专利]一种碳氮氧化钛涂层及其应用

权利要求书

1.一种碳氮氧化钛涂层，包括：

第一化合物层，第一化合物层中的化合物具有式（1）所示通式：

Ti（C_x1N_y1O_z1）（1）；

其中，x1+y1+z1=1，0.5≤x1≤0.66，0.28≤y1≤0.35，0.02≤z1≤0.15；

复合在所述第一化合物层上的第二化合物层，第二化合物层中的化合物具有式（2）所示通式：

Ti（C_x2N_y2O_z2）（2）；

其中，x2+y2+z2=1，0.45≤x2≤0.55，0.22≤y2≤0.3，0.15z2≤0.33；

所述碳氮氧化钛涂层还包括：

复合在所述第一化合物层上的第三化合物层，第三化合物层中的化合物具有式（1）所示通式：

Ti（C_x3N_y3O_z3）（1）；

其中，x3+y3+z3=1，0.02≤z3≤0.15；

所述第一化合物层和第二化合物层交替复合；

所述碳氮氧化钛涂层中，所述第一化合物层的个数为1~10，所述第二化合物层的个数为1~10；

所述第一化合物层的平均厚度为1~6 µm；

所述第二化合物层的平均厚度为1~6 µm；

所述碳氮氧化钛涂层的平均厚度为1~30 µm；

所述第一化合物层和第二化合物层的平均横比大于2.5。

2.一种具有碳氮氧化钛涂层的硬质合金切削工具，包括：

硬质合金基体；

复合在所述硬质合金基体上的碳氮氧化钛涂层；

所述碳氮氧化钛涂层为权利要求1所述的碳氮氧化钛涂层。

3.一种权利要求2所述的具有碳氮氧化钛涂层的硬质合金切削工具的制备方法，包括以下步骤：

采用中温化学气相沉积法在硬质合金切削工具的外表面沉积碳氮氧化钛涂层，得到具有碳氮氧化钛涂层的硬质合金切削工具；

沉积碳氮氧化钛涂层中第一化合物层的过程中，间歇通入第一含氧混合气体；

沉积碳氮氧化钛涂层中第二化合物层的过程中，间歇通入第二含氧混合气体；

所述第一含氧混合气体包括TiCl₄、CH₃CN、CH₄、N₂、HCl、CO、CO₂和氢气；

所述第一含氧混合气体中，CO的体积分数为0%~4%，CO₂的体积分数为0%~1%；且CO的体积分数和CO₂的体积分数不同时为0%；

所述第二含氧混合气体包括TiCl₄、CH₃CN、CH₄、N₂、HCl、CO、CO₂和氢气；

所述第二含氧混合气体中，CO的体积分数为0%~4%，CO₂的体积分数为0%~1%；且CO的体积分数和CO₂的体积分数不同时为0%。