[发明专利]三轨直线电机装置

权利要求书

1.三轨直线电机装置，其特征在于：包括下轴平面度调节机构和上轴直线电机机构，所述下轴平面度调节机构包括下轴底板，相互平行且固定于所述下轴底板上的下轴导轨，可在所述下轴导轨上滑动的下轴滑块，固定在同一条下轴导轨的下轴滑块上的调节块，驱动下轴滑块在下轴导轨上滑块的下轴电机，所述上轴直线电机机构固定于所述调节块上。

2.根据权利要求1所述三轨直线电机装置，其特征在于：所述下轴导轨有三条。

3.根据权利要求2所述三轨直线电机装置，其特征在于：所述调节块有三块。

4.根据权利要求1所述三轨直线电机装置，其特征在于：所述下轴平面度调节机构还包括设置在下轴导轨旁的下轴柔性无尘拖链。

5.根据权利要求4所述三轨直线电机装置，其特征在于：所述下轴平面度调节机构还包括设置于所述下轴柔性无尘拖链上方的下轴柔性无尘拖链挡板。

6.根据权利要求1所述三轨直线电机装置，其特征在于：所述下轴底板为大理石材质。

7.根据权利要求1所述三轨直线电机装置，其特征在于：所述上轴直线电机机构包括固定于所述调节块上的上轴底板，相互平行且固定于所述上轴底板上的上轴导轨，可在所述上轴导轨上滑动的上轴滑块，固定于所述上轴滑块上的负载，驱动上轴滑块在下轴导轨上滑动的上轴电机。

8.根据权利要求7所述三轨直线电机装置，其特征在于：所述上轴直线电机机构还包括设置在上轴导轨旁的上轴柔性无尘拖链。

9.根据权利要求8所述三轨直线电机装置，其特征在于：所述上轴直线电机机构还包括设置于所述上轴柔性无尘拖链上方的上轴柔性无尘拖链挡板。

10.根据权利要求7所述三轨直线电机装置，其特征在于：所述上轴底板为大理石材质。