[发明专利]自动上料系统

权利要求书

1.一种自动上料系统，其特征在于，包括：

机架，固定各机构；

进料机构，将放置有晶圆的花篮从上料口从前往后移入第一工位，将空的所述花篮从第一工位向后移至第二工位；

移载机构，将放置有晶圆的所述花篮从所述第一工位移至花篮脱离机构，将所述花篮脱离机构分离的空的所述花篮移入第一工位；

花篮脱离机构，将所述花篮与所述花篮内的晶圆分离；

其中，所述进料机构，包括：

进料前后移动机构，做前后水平移动，移动行程从所述上料口至所述第二工位；

进料升降机构，做升降运动，固定于所述进料前后移动机构上，由所述进料前后移动机构带动所述进料升降机构做前后水平移动；

支撑板，固定于所述机架上，沿前后方向设有进料槽；

进料板，固定于所述进料升降机构的升降端，由所述进料升降机构带动所述进料板做升降运动，所述进料板在上升后可穿过所述进料槽后支撑所述花篮底面。

2.如权利要求1所述的自动上料系统，其特征在于，还包括位于所述第一工位和所述花篮脱离机构之间的第三工位，所述第三工位作为所述花篮中转站；

当所述花篮脱离机构正在进行晶圆分离时，所述移载机构将放置有晶圆的所述花篮从所述第一工位移至所述第三工位，待所述花篮脱离机构的晶圆分离完成后，将所述花篮脱离机构分离的空的所述花篮移入第一工位，将放置有晶圆的所述花篮从所述第三工位移至所述花篮脱离机构进行晶圆分离。

3.如权利要求1所述的自动上料系统，其特征在于，还包括：

提升机构，将空的所述花篮从所述第二工位向上提成；

平移机构，将空的所述花篮从所述第二工位上方移至第四工位，所述第四工位位于所述花篮脱离机构后方。

4.如权利要求1所述的自动上料系统，其特征在于，还包括：

气体隔离机构，设置在所述花篮脱离机构的侧边，将所述花篮脱离机构与侧边的晶圆处理工位进行隔开。

5.如权利要求1所述的自动上料系统，其特征在于，所述支撑板的前段为所述上料口，所述支撑板的中段为所述第一工位，所述支撑板的后段为所述第二工位。

6.如权利要求1所述的自动上料系统，其特征在于，所述支撑板和所述花篮脱离机构之间设有移载中转板，所述移载中转板的长度方向为前后方向，所述移载中转板为第三工位。

7.如权利要求1至4中任意一项所述的自动上料系统，其特征在于，所述移载机构，包括：

移载左右移动机构，做左右水平移动，移动行程从所述第一工位至所述花篮脱离机构；

移载前后移动机构，做前后水平移动，固定于所述移载左右移动机构的移动端，由所述移载左右移动机构带动所述移载前后移动机构做左右移动；

移载升降机构，做升降运动，固定于所述移载前后移动机构的移动端，由所述移载前后移动机构带动所述移载升降机构做前后移动；

移载夹持端，用于夹持所述花篮，固定于所述移载升降机构的升降端，由所述移载升降机构带动所述移载夹持端做升降运动。

8.如权利要求3所述的自动上料系统，其特征在于，所述提升机构，包括：

提升升降机构，做升降运动；

提升夹持端，用于夹持所述花篮，固定于所述提升升降机构的升降端，由所述提升升降机构带动所述提升夹持端做升降运动。

9.如权利要求3所述的自动上料系统，其特征在于，所述平移机构，包括：

水平左右移动机构，做左右水平移动，移动行程从所述第二工位至所述第四工位；

平移夹持端，用于夹持所述花篮，固定于所述水平左右移动机构的移动端，由所述水平左右移动机构带动所述平移夹持端做左右移动。