[发明专利]激光光束准直方法有效
| 申请号： | 202110441146.X | 申请日： | 2021-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN115236863B | 公开（公告）日： | 2023-09-15 |
| 发明（设计）人： | 向南;陈国栋;梁宗森;陈桂顺;吕洪杰 | 申请（专利权）人： | 深圳市大族数控科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/09 | 分类号： | G02B27/09;G02B27/30 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 林青中 |
| 地址： | 518101 广东省深圳市宝安区沙井街道新沙路*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 激光 光束 方法 | ||
1.一种激光光束准直方法，其特征在于，包括如下步骤：
获取激光器发出的激光光束的光斑直径，根据所述光斑直径选择具有合适通光孔孔径的光阑，所述通光孔的孔径满足当所述激光光束通过后能够形成衍射环；
安装所述激光器、所述光阑以及感光装置，使所述激光器以所述感光装置上的靶标为目标发出激光光束，且使所述激光光束通过所述光阑的通光孔之后在所述感光装置上形成多个共圆心的衍射环；
调整所述感光装置与所述通光孔之间的距离以调整所述衍射环的环形度，并使所述衍射环上任意两点的曝光值的差值的绝对值均不超过预设绝对值阈值；
调整所述激光光束的偏移量，使所述衍射环的圆心与所述感光装置上的靶标重合。
2.如权利要求1所述的激光光束准直方法，其特征在于，所述衍射环不少于4个。
3.如权利要求1所述的激光光束准直方法，其特征在于，所述通光孔的孔径不超过所述光斑直径的2/3。
4.如权利要求1所述的激光光束准直方法，其特征在于，所述通光孔的孔径不低于所述光斑直径的1/3。
5.如权利要求4所述的激光光束准直方法，其特征在于，所述通光孔的孔径不低于所述光斑直径的1/2。
6.如权利要求1所述的激光光束准直方法，其特征在于，所述预设绝对值阈值为曝光999ms增益不超过5.0。
7.如权利要求1所述的激光光束准直方法，其特征在于，调整所述激光光束的偏移量之后，所述激光光束的偏移量不超过20μm。
8.如权利要求1～7中任一项所述的激光光束准直方法，其特征在于，所述激光光束为高斯光束。
9.如权利要求8所述的激光光束准直方法，其特征在于，所述激光光束的光路上的光强的径向分布为：
其中，I为光强，r为截面光斑的径向位置，ω0为高斯光束在光强由最大值下降到13％时的光斑半径，在截面的中心位置处，r＝0，I(0)＝1。
10.如权利要求1～7中任一项所述的激光光束准直方法，其特征在于，所述感光装置为光斑分析仪。
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