[发明专利]一种磁浮重力补偿器有效
申请号: | 202110442242.6 | 申请日: | 2021-04-23 |
公开(公告)号: | CN112994526B | 公开(公告)日: | 2022-05-24 |
发明(设计)人: | 胡兵;龚威;蒋贇 | 申请(专利权)人: | 上海隐冠半导体技术有限公司 |
主分类号: | H02N15/00 | 分类号: | H02N15/00;H01L21/683 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 200135 上海市浦东新区自*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 重力 补偿 | ||
1.一种磁浮重力补偿器,其特征在于,包括至少一个磁浮单元,所述磁浮单元包括动子磁钢组件(1)和定子磁钢组件(2);
所述动子磁钢组件(1)包括动子磁钢部件(11);
所述定子磁钢组件(2)设置于所述动子磁钢组件(1)一侧,所述定子磁钢组件(2)包括第一定子磁钢部件(21)和第二定子磁钢部件(22),所述第一定子磁钢部件(21)和所述第二定子磁钢部件(22)的Z轴方向尺寸均大于所述动子磁钢部件(11)的Z轴方向尺寸;
所述第一定子磁钢部件(21)对所述动子磁钢部件(11)产生第一磁浮补偿力;所述第二定子磁钢部件(22)对所述动子磁钢部件(11)产生第二磁浮补偿力;
所述第一磁浮补偿力和所述第二磁浮补偿力沿轴向方向相同且沿径向方向为零,所述动子磁钢部件(11)能够由基准点沿Z轴的正方向或反方向移动产生位移量,所述基准点的位置为所述动子磁钢部件(11)、所述第一定子磁钢部件(21)和所述第二定子磁钢部件(22)的水平中心线在Z轴重合的位置;
所述第一磁浮补偿力随着所述位移量的增大而增大,所述第二磁浮补偿力随着所述位移量的增大而减小;
所述第一定子磁钢部件(21)设置于所述动子磁钢部件(11)的一侧,所述第二定子磁钢部件(22)设置于所述第一定子磁钢部件(21)的远离所述动子磁钢部件(11)的一侧;或所述第二定子磁钢部件(22)设置于所述动子磁钢部件(11)的一侧,所述第一定子磁钢部件(21)设置于所述第二定子磁钢部件(22)的远离所述动子磁钢部件(11)的一侧;
所述第二定子磁钢部件(22)沿Z轴方向由上到下依次包括第一子磁钢(221)和第二子磁钢(222),所述第一子磁钢(221)与所述动子磁钢部件(11)的充磁方向相同,所述第一子磁钢(221)和所述第二子磁钢(222)的充磁方向相反;
当所述动子磁钢部件(11)的充磁方向为由所述动子磁钢部件(11)指向所述第一定子磁钢部件(21)时,所述第一定子磁钢部件(21)的充磁方向为Z轴方向向下;
当所述动子磁钢部件(11)的充磁方向为由所述第一定子磁钢部件(21)指向所述动子磁钢部件(11)时,所述第一定子磁钢部件(21)的充磁方向为Z轴方向向上;
当所述动子磁钢部件(11)的充磁方向为Z轴方向向上时,所述第一定子磁钢部件(21)的充磁方向为由所述第一定子磁钢部件(21)指向所述动子磁钢部件(11);
当所述动子磁钢部件(11)的充磁方向为Z轴方向向下时,所述第一定子磁钢部件(21)的充磁方向为由所述动子磁钢部件(11)指向所述第一定子磁钢部件(21)。
2.根据权利要求1所述的磁浮重力补偿器,其特征在于,所述动子磁钢组件(1)和所述定子磁钢组件(2)之间的间隙为1mm-3mm。
3.根据权利要求1所述的磁浮重力补偿器,其特征在于,所述动子磁钢部件(11)沿Z轴方向由上到下依次包括第三子磁钢(111)和第四子磁钢(112);
当所述第三子磁钢(111)的充磁方向为Z轴方向向下,以及所述第四子磁钢(112)的充磁方向为Z轴方向向上时,所述第三子磁钢(111)和所述第四子磁钢(112)结合形成的所述动子磁钢部件(11)的磁路和所述动子磁钢部件(11)的整体充磁方向为由所述动子磁钢部件(11)指向所述第一定子磁钢部件(21)时形成的磁路一致;
当所述第三子磁钢(111)的充磁方向为Z轴方向向上,以及所述第四子磁钢(112)的充磁方向为Z轴方向向下时,所述第三子磁钢(111)和所述第四子磁钢(112)结合形成的所述动子磁钢部件(11)的磁路和所述动子磁钢部件(11)的整体充磁方向为由所述第一定子磁钢部件(21)指向所述动子磁钢部件(11)时形成的磁路一致。
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