[发明专利]一种纳米复合WN-Au涂层及其制备方法和应用

权利要求书

1.一种纳米复合WN-Au涂层，其特征在于：该纳米复合WN-Au涂层中各元素的原子百分比含量分别为：W 25～35at.％，Au 0～20at.％，N 55～65at.％，各元素总为100at.％。

2.根据权利要求1所述的一种纳米复合WN-Au涂层，其特征在于，所述纳米复合WN-Au涂层的制备方法包括以下步骤：

(1)将镜面抛光后的衬底基体放入超声波中，依次用金属洗涤剂、酒精先后超声波清洗10～20min，干燥后固定在镀膜腔室内的样品台上，保持靶基距50～150mm，调节样品台自转速度0～20rpm，打开温控加热器升温至25～500℃，预抽本底真空至3.0～5.0×10^-3Pa；

(2)打开Ar、N₂气流量阀，调节Ar：N₂流量比1:1～10:1，设置分子泵的转速30000～90000rpm，调节总气压至0.5～2.0Pa；

(3)打开直流与射频磁控溅射电源，直流溅射Au靶功率调节至0～100W，射频溅射W靶功率调节至0～500W，占空比10～100％，复合沉积0～600min，得到厚度1.0～4.0μm的纳米复合WN-Au涂层；

(4)沉积结束后，关闭直流与射频磁控溅射电源，关闭Ar和N₂气流量阀，再关闭分子泵和机械泵，待腔室温度降至室温后开炉门取出样品，完成镀膜。

3.根据权利要求2所述纳米复合WN-Au涂层的制备方法，其特征在于，步骤(1)中所述衬底基体包括单晶Si片、不锈钢、硬质合金。

4.根据权利要求1所述的一种纳米复合WN-Au涂层，其特征在于，所述的纳米复合WN-Au涂层应用于刀具涂层和表面润滑涂层领域。