[发明专利]一种脉冲离子源镀膜引出装置

权利要求书

1.一种脉冲离子源镀膜引出装置，其特征在于，包括脉冲电极，阴极靶材和阳极；

所述阳极包括外筒体和内部的阳极环；

所述阴极靶材与外筒体之间导通；所述阳极环与外筒体之间设置有绝缘材料；所述阴极靶材为柱状，插入外筒体内，并位于所述外筒体中的阳极环上方；所述阴极靶材中心线穿过阳极环的中心孔；

所述阴极靶材与驱动电机传动连接，驱动所述阴极靶材向阳极环进给；

所述阴极靶材的离子发射端外侧套设有脉冲电极，并且阴极靶材的裸露端伸出所述脉冲电极，所述阴极靶材与脉冲电极之间设置有绝缘套；

所述阳极环连接电源的正极，阴极靶材连接电源的负极或接地，所述脉冲电极连接脉冲电源；

还包括控制器，所述控制器与驱动电机和靶盘的束流分析仪电连接，所述驱动电机的进给速度其中i为靶盘上测得的离子束流，阴极靶材的密度为ρ，阴极靶材的原子量为M，阴极靶材的反应表面面积为S，经过时间t，步进速度为v，阴极靶材的平均电荷态Qa；

所述驱动电机与阴极靶材均安装在法兰盘上，所述法兰盘安装在所述外筒体上端，并与所述外筒体之间设置金属连接；所述阴极靶材安装在法兰盘下方，其从下方穿过法兰盘，与安装在法兰盘上方的波纹管连接；所述波纹管与驱动电机传动连接；

所述波纹管上安装有连接板，所述连接板通过丝杆，光杆与所述驱动电机传动连接；

所述驱动电机通过支架安装在所述法兰盘上，所述丝杆和光杆设置在支架内，所述支架外部设置有刻度线；所述连接板上设置有指针，所述指针指向所述刻度线。

2.如权利要求1所述的脉冲离子源镀膜引出装置，其特征在于，所述脉冲电源接入端穿设在法兰盘上，上端连接脉冲电源，下端连接脉冲电极；位于所述法兰盘上方脉冲电源接入端外部设有陶瓷材料，与外壳绝缘。

3.如权利要求1所述的脉冲离子源镀膜引出装置，其特征在于，所述阳极环与外筒体通过螺纹连接并可调节上下距离。

4.如权利要求1所述的脉冲离子源镀膜引出装置，其特征在于，所述阴极靶材的离子发射端外侧还套设有电极安装环，所述电极安装环固定在脉冲电极上，所述绝缘套安装在阴极靶材与电极安装环的中心孔之间。

5.如权利要求1所述的脉冲离子源镀膜引出装置，其特征在于，所述阳极环的电源接入端位于外筒体的外壁，所述外筒体位于电源接入端的上、下侧外壁均设置有绝缘材料。

6.如权利要求1所述的脉冲离子源镀膜引出装置，其特征在于，所述阴极靶材的外侧套设有弹簧，所述弹簧的下端抵接绝缘套的顶部，所述弹簧的上端抵接所述法兰盘的底部。