[发明专利]一种电子显微镜载网、其制备方法和显微镜产品在审

专利信息
申请号: 202110453128.3 申请日: 2021-04-26
公开(公告)号: CN113192816A 公开(公告)日: 2021-07-30
发明(设计)人: 苏东;赵剑雄;郭胜楠 申请(专利权)人: 中国科学院物理研究所
主分类号: H01J37/20 分类号: H01J37/20;H01J37/26;H01J37/28;H01J9/00;G01N23/04;G01N23/20025
代理公司: 北京市英智伟诚知识产权代理事务所(普通合伙) 11521 代理人: 刘丹妮;姚望舒
地址: 100190 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 电子显微镜 制备 方法 显微镜 产品
【说明书】:

发明提供了一种电子显微镜载网,所述电子显微镜载网包括网体和隔板,所述隔板凸设于所述网体一侧的网体表面,并将该侧网体表面分隔为两个或两个以上载样区,还提供了其制备方法和显微镜产品。本发明一片载网能够承载至少两种样品,且两种样品互不混合,互不干扰。使用本发明的载网,一次装样检测,能够检测两种或两种以上的样品。

技术领域

本发明属于材料分析检测领域,具体涉及一种电子显微镜载网、其制备方法和显微镜产品。

背景技术

透射电子显微镜是一种研究材料微观结构的重要分析仪器。目前先进的透射电子显微学成像技术可以实现对薄样品内部原子排列的直接观察。对于纳米颗粒样品,和生物样品需要用专用载网作为支撑和载体进行观察。

相关技术中,使用载网负载待分析样品的方法如下:

(1)使用合适的有机溶剂(乙醇,丙醇,正己烷,环己烷,甲苯)或高纯水分散待分析样品,制成样品溶液;

(2)使用毛细管或者微量移液器在载网上滴加少量样品溶液;

(3)静置或烘干上一步获得的载网,直到溶剂充分挥发,且样品均匀地附着于载网表面。

本发明人发现,当载网负载好样品后,可将其送入透射电子显微镜检测。透射电子显微镜的镜筒内部一般为10-5-10-7Pa量级的真空度。在把样品送入镜筒内部之前,通常需要一段约5~10分钟的预抽真空过程,这个过程不但会破坏电镜真空,而且会带入污染,影响样品的观察。如果能减少换样次数,不但能节约测试的时间和成本,而且能维持电镜内部的高真空,和镜筒内部的清洁度。目前使用的电子显微镜载网上只能负载一种样品,如果滴加两种或两种以上的样品在一片载网上,样品将由于扩散效应在载网表面混合,影响实验中对样品的检测。如何改进载网的结构,获得能够负载多个样品的载网,从而高效利用昂贵的电镜测试时间,并且增加测试的准确度和可信度,是一项亟待解决的问题。

发明内容

因此,本发明的目的在于克服现有技术中的缺陷,提供一种能够实现在同一载网上滴加两种或两种以上样品溶液的电子显微镜载网,及其制备方法和显微镜产品。

在阐述本发明内容之前,定义本文中所使用的术语如下:

术语“载网”是指:用于承载电子显微镜样品的载具。

术语“支持膜”是指:用于覆盖载网网孔的纳米薄膜。

术语“贯穿”是指沿平行于网体表面的方向,从网体的一端延伸至网体的另一端。

术语“以上”包括本数,例如三个以上包括三个、四个、五个等。

术语“液体隔离”是指滴在隔板与网体表面交界一侧的液体基本上不通过隔板与网体表面的交界而到达另一侧。

为实现上述目的,本发明的第一方面提供了一种电子显微镜载网,所述电子显微镜载网包括网体和隔板,所述隔板凸设于所述网体一侧的网体表面,并将该侧网体表面分隔为两个以上载样区。

根据本发明第一方面的电子显微镜载网,其中,所述隔板从一个或多个方向贯穿整个网体表面。

根据本发明第一方面的电子显微镜载网,其中,所述隔板贴靠或紧密连接在所述网体表面。

根据本发明第一方面的电子显微镜载网,其中,所述网体的材质选自以下一种或多种:钽,钛,铜,镍,钼,氮化硅;和/或

所述网体的网孔形状选自以下一种或多种:栅状、方孔、圆孔、三角型孔、六边形孔、椭圆形孔型。

根据本发明第一方面的电子显微镜载网,其中,所述隔板的凸起高度为10微米以上,优选为50微米以上,更优选为100~200微米;和/或

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