[发明专利]一种溅射靶材斜面花纹的加工方法

说明书

本发明提供了一种溅射靶材斜面花纹的加工方法，所述加工方法包括以下步骤：(1)将靶材溅射面和靶材侧面的直角连接边铣削成斜面；(2)在步骤(1)所得斜面上进行花纹铣削。本发明防止了反剥落现象的同时避免了产品在加工过程中发生变形，减缓了刀具磨损，合理控制了花纹结构的粗糙度范围。

技术领域

本发明属于溅射靶材技术领域，涉及一种溅射靶材斜面花纹，尤其涉及一种溅射靶材斜面花纹的加工方法。

背景技术

在磁控溅射过程中，靶材边缘和侧面极易产生反剥落现象，严重影响镀膜质量。一般的做法是在相应位置设置花纹结构，以此来增加溅射面的粗糙度，提升反溅射物的附着力，从而防止反剥落现象。然而，现有技术采用滚花轮直接在靶材边缘及侧面进行滚花的操作极易导致产品变形，或者采用铣刀直接铣削的方式极易导致刀具磨损严重，这些方法得到的花纹结构粗糙度很难达到合格范围，且外观的美感较差。

由此可见，如何提供一种溅射靶材花纹结构的加工方法，防止反剥落现象的同时避免产品在加工过程中发生变形，减缓刀具磨损，合理控制花纹结构的粗糙度范围，成为了目前本领域技术人员迫切需要解决的问题。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本发明的目的在于提供一种溅射靶材斜面花纹的加工方法，所述加工方法防止了反剥落现象的同时避免了产品在加工过程中发生变形，减缓了刀具磨损，合理控制了花纹结构的粗糙度范围。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

本发明提供一种溅射靶材斜面花纹的加工方法，所述加工方法包括以下步骤：

(1)将靶材溅射面和靶材侧面的直角连接边铣削成斜面；

(2)在步骤(1)所得斜面上进行花纹铣削。

本发明在花纹铣削之前进行斜面加工，不仅避免了靶材在加工过程中由于边缘应力过大产生变形，而且减小了花纹铣削环节的加工量，从而减缓了刀具磨损，便于合理控制花纹结构的粗糙度范围。

优选地，步骤(1)采用铣刀进行。

优选地，所述铣刀的规格包括4R0.5。

本发明中，所述铣刀的规格为4R0.5具体含义为：铣刀的刀柄直径为4mm，刀尖的倒角半径为0.5mm。

优选地，步骤(2)采用平底尖刀进行。

优选地，所述平底尖刀的规格为(3-4)mm×(30-60)°×(0.15-0.25)mm，例如可以是3mm×30°×0.15mm、3.5mm×45°×0.2mm或4mm×60°×0.25mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

本发明中，所述平底尖刀的规格为(3-4)mm×(30-60)°×(0.15-0.25)mm具体含义为：平底尖刀的刀柄直径为3-4mm，从刀柄至刀尖的斜面角度为30-60°，刀尖的厚度为0.15-0.25mm。

优选地，步骤(1)所述铣削过程中靶材的转速为4000-6000rpm，例如可以是4000rpm、4200rpm、4400rpm、4600rpm、4800rpm、5000rpm、5200rpm、5400rpm、5600rpm、5800rpm或6000rpm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

本发明中，步骤(1)所述铣削过程中靶材的转速为靶材绕其圆心的转速。

优选地，步骤(1)所述铣削的加工量为0.08-0.12mm，例如可以是0.08mm、0.09mm、0.1mm、0.11mm或0.12mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

本发明中，步骤(1)所述铣削的加工量具体为：铣削前后靶材的厚度差值。