[发明专利]一种钽靶材及其制备方法

权利要求书

1.一种钽靶材的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：

(1)装填并压实钽粉，经过冷等静压处理，得到钽生坯；

(2)将步骤(1)所得钽生坯进行第一脱气处理，经过700-1300℃的第一热等静压处理，得到第一钽坯料；

(3)将步骤(2)所得第一钽坯料进行第二脱气处理，经过1300-1600℃的第二热等静压处理，得到第二钽坯料；

(4)将步骤(3)所得第二钽坯料进行机加工，得到钽靶材。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤(1)所述钽粉的平均粒径为1-200μm；

优选地，步骤(1)所述钽粉的纯度≥99％；

优选地，步骤(1)所述钽粉在包套中进行装填和压实。

3.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，步骤(1)所述冷等静压处理的绝对压力为100-300MPa；

优选地，步骤(1)所述冷等静压处理的时间为10-120min；

优选地，步骤(1)所述冷等静压处理之前还对压实后的钽粉进行防水处理；

优选地，所述防水处理为采用塑料膜对压实后的钽粉进行包裹。

4.根据权利要求1-3任一项所述的制备方法，其特征在于，步骤(2)所述第一脱气处理的绝对真空度≤1×10^-3Pa；

优选地，步骤(2)所述第一脱气处理的温度为300-600℃；

优选地，步骤(2)所述第一脱气处理的时间为8-24h。

5.根据权利要求1-4任一项所述的制备方法，其特征在于，步骤(2)所述第一热等静压处理的绝对压力为100-300MPa；

优选地，步骤(2)所述第一热等静压处理的时间为2-24h。

6.根据权利要求1-5任一项所述的制备方法，其特征在于，步骤(3)所述第二脱气处理的绝对真空度≤2×10^-3Pa；

优选地，步骤(3)所述第二脱气处理的温度为400-700℃；

优选地，步骤(3)所述第二脱气处理的时间为8-24h。

7.根据权利要求1-6任一项所述的制备方法，其特征在于，步骤(3)所述第二热等静压处理的绝对压力为100-300MPa；

优选地，步骤(3)所述第二热等静压处理的时间为2-24h。

8.根据权利要求1-7任一项所述的制备方法，其特征在于，步骤(4)所述机加工包括抛光与切割。

9.根据权利要求1-8任一项所述的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：

(1)在包套中装填并压实平均粒径为1-200μm，纯度≥99％的钽粉，采用塑料膜对压实后的钽粉进行包裹，经过绝对压力为100-300MPa，时间为10-120min的冷等静压处理，得到钽生坯；

(2)将步骤(1)所得钽生坯进行绝对真空度≤1×10^-3Pa，温度为300-600℃，时间为8-24h的第一脱气处理，经过绝对压力为100-300MPa，温度为700-1300℃，时间为2-24h的第一热等静压处理，得到第一钽坯料；

(3)将步骤(2)所得第一钽坯料进行绝对真空度≤2×10^-3Pa，温度为400-700℃，时间为8-24h的第二脱气处理，经过绝对压力为100-300MPa，温度为1300-1600℃，时间为2-24h的第二热等静压处理，得到第二钽坯料；

(4)将步骤(3)所得第二钽坯料进行抛光与切割，得到钽靶材。

10.一种如权利要求1-9任一项所述的制备方法制备得到的钽靶材。