[发明专利]氧化燃烧铸锭生长机的装置及其方法

权利要求书

1.一种氧化燃烧铸锭生长机的方法，其特征在于，所述铸锭生长机包括腔室、连接到所述腔室的排气管和连接到所述排气管的过滤器，所述方法包括：

a)在所述过滤器和所述排气管之间进行阻塞；

b)使所述过滤器形成为真空状态；和

c)通过连接到所述过滤器的第一侧的喷射管将空气喷射到所述过滤器中以燃烧所述过滤器。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述过滤器由连接到所述过滤器的第二侧的主泵形成为真空状态。

3.根据权利要求1所述的方法，所述方法进一步包括：

重复所述步骤b)和所述步骤c)。

4.根据权利要求3所述的方法，所述方法进一步包括：

测量所述过滤器的温度；和

当所述过滤器的测量温度高于预定温度时，形成循环结构，在所述循环结构中，空气流向喷射管、过滤器和连接到所述过滤器的第三侧的所述排气管。

5.根据权利要求4所述的方法，其中，空气由安装在所述过滤器的第四侧上的第二真空泵通过所述喷射管和所述过滤器被引入到所述释放管。

6.根据权利要求4所述的方法，所述方法进一步包括：

当所述过滤器的测量温度小于或等于预定温度时，在所述喷射管和所述释放管中的每一个和所述过滤器之间进行阻塞，并将所述过滤器连接到所述排气管。

7.根据权利要求1所述的方法，所述方法进一步包括：

通过将空气引入所述腔室和所述排气管来燃烧所述腔室和所述排气管。

8.根据权利要求7所述的方法，其中，空气由安装在所述排气管的一侧上的第一真空泵经由所述腔室被引入到所述排气管。

9.一种氧化燃烧铸锭生长机的装置，所述装置包括：

腔室；

排气管，所述排气管连接到所述腔室；

过滤器，所述过滤器连接到所述排气管；

喷射管，所述喷射管连接到所述过滤器的第一侧；和

控制器，

其中，所述控制器被配置为：

在所述过滤器和所述排气管之间进行阻塞，并且使所述过滤器形成为真空状态，和

通过所述喷射管将空气喷射到所述过滤器中以燃烧所述过滤器。

10.根据权利要求9所述的装置，所述装置进一步包括：

主泵，所述主泵连接到所述过滤器的第二侧，

其中，所述过滤器通过所述主泵形成为真空状态。

11.根据权利要求9所述的装置，其中，所述控制器被配置为重复进行形成真空状态的过程和燃烧所述过滤器的过程。

12.根据权利要求11所述的装置，所述装置进一步包括：

释放管，所述释放管连接到所述过滤器的第三侧；和

至少一个温度传感器，所述至少一个温度传感器被安装在远离所述喷射管的位置，以测量所述过滤器的温度。

13.根据权利要求12所述的装置，其中，所述控制器被配置为当所述过滤器的测量温度高于预定温度时，形成循环结构，在所述循环结构中，空气流向所述喷射管、所述过滤器和所述释放管。

14.根据权利要求13所述的装置，所述装置进一步包括：

第二真空泵，所述第二真空泵安装在所述过滤器的第四侧上，

其中，空气由所述第二真空泵通过所述喷射管和所述过滤器被引入到所述释放管中。

15.根据权利要求13所述的装置，其中，所述控制器被配置为当所述过滤器的测量温度小于或等于预定温度时在所述喷射管和所述释放管中的每一个与所述过滤器之间进行阻塞，并且将所述过滤器连接到所述排气管。