[发明专利]用于检测和调试设备成像光路的工装、检测系统和方法

说明书

本发明公开一种用于检测和调试直写光刻设备成像光路的工装、检测和调试直写光刻设备成像光路的系统以及方法，其中，用于检测和调试直写光刻设备成像光路的工装，包括背光组件，背光组件包括光源、光传输单元和容纳筒，容纳筒上设置有出光孔，光源和光传输单元均设置在容纳筒内，光传输单元用于将光源的出射光传输至出光孔处；星点板，星点板设置在出光孔处，星点板上设置有透光孔阵列，光源的出射光照射到星点板上；连接组件，连接组件用于连接背光组件和待测成像光路，以使得透过星点板的光线通过待测成像光路成像。本发明实施例的用于检测和调试直写光刻设备成像光路的工装便于分析成像光路的像差情况以及调试成像光路。

技术领域

本发明涉及光刻设备技术领域，尤其是涉及一种用于检测和调试直写光刻设备成像光路的工装、检测和调试直写光刻设备成像光路的系统和方法。

背景技术

成像光路是直写光刻设备的核心组成部分，成像光路的质量直接决定直写光刻设备的解析和焦深情况，现有的直写光刻设备的成像光路多使用分辨率法检验成像光路质量。

但是，采用分辨率法检验成像光路质量存在局限性，例如只能判断成像质量好坏，并不能定性分析出成像光路具体像差，因而，调试人员无法根据分辨率法的结果确定调试方向，调试效率低下。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明的第一个目的在于提出一种用于检测和调试直写光刻设备成像光路的工装，该工装为分析成像光路的像差情况以及调试成像光路提供硬件基础，便于提高成像光路调试效率。

本发明的第二个目的在于提出一种检测和调试直写光刻设备成像光路的系统。

本发明的第三个目的在于提出一种检测和调试直写光刻设备成像光路的方法。

为了达到上述目的，本发明的第一方面实施例提出了一种用于检测和调试直写光刻设备成像光路的工装，包括：背光组件，背光组件包括光源、光传输单元和容纳筒，所述容纳筒上设置有出光孔，所述光源和所述光传输单元均设置在所述容纳筒内，所述光传输单元用于将所述光源的出射光传输至所述出光孔处；星点板，所述星点板设置在所述出光孔处，所述星点板上设置有透光孔阵列，所述光源的出射光照射到所述星点板上；连接组件，所述连接组件用于连接所述背光组件和待测成像光路，以使得透过所述星点板的光线通过所述待测成像光路成像。

根据本发明实施例的用于检测和调试直写光刻设备成像光路的工装，采用星点检验法，星点板上设置有透光孔阵列，且将星点板设置在出光孔处，通过连接组件连接背光组件和待测成像光路，以使得透过星点板的光线通过待测成像光路成像，进而可以通过图像采集装置采集星点成像的图像以分析成像光路的像差情况，从而，本发明实施例的工装，为直写光刻设备成像光路的检测和调试提供硬件基础，利于提高成像光路的调试效率。

在本发明的一些实施例中，所述光传输单元包括：第一透镜组，设置在所述光源的出射光的传播路径上，用于将所述出射光汇聚输出；矩形光棒，所述矩形光棒设置在所述第一透镜组的光输出路径上，用于将所述第一透镜组汇聚输出的光线转换为矩形光斑并输出；第二透镜组，所述第二透镜组设置在所述矩形光棒的光传播路径上，用于将所述矩形光斑汇聚输出；反射镜，所述反射镜设置在所述第二透镜组的光传播路径上并与所述第二透镜组呈预设角度，以将所述第二透镜组汇聚输出的矩形光斑反射至所述星点板上。