[发明专利]铝及其合金蚀刻清洁生产工艺

权利要求书

1.铝及其合金蚀刻清洁生产工艺，其特征在于，该工艺包括以下步骤：

（1）降温稀释：

从蚀刻槽用热泵抽取蚀刻槽中蚀刻液总量的4～5%的高温蚀刻液至稀释沉淀槽，边抽边混入自来水，加入自来水量与抽取的蚀刻液体积比为1：1，使沉淀稀释槽中稀释后的蚀刻液温度降至40～60℃；

（2）沉淀去除悬浮物：降温稀释后的蚀刻液沉淀3～5小时后，颗粒较大的悬浮物通过沉渣去除；

（3）过滤去除悬浮物：对沉淀稀释槽内上层清液使用过滤设备进行过滤以进一步去除蚀刻液中的细微悬浮物，分离出过滤的滤渣；

（4）将步骤（3）中过滤的滤液抽回蚀刻槽循环使用；

（5）每天重复步骤（1）-步骤（4）两次。

2.根据权利要求1所述的铝及其合金蚀刻清洁生产工艺，其特征在于：步骤（1）中热泵的入液口位于蚀刻槽深度的1/2液面以下。

3.根据权利要求1所述的铝及其合金蚀刻清洁生产工艺，其特征在于：步骤（1）中混入自来水的流量速度大于抽入蚀刻液的流量速度，以节省混入自来水的时间。

4.根据权利要求1所述的铝及其合金蚀刻清洁生产工艺，其特征在于：步骤（3）中过滤设备为膜滤，膜孔径在0.2～1微米。

5.根据权利要求1所述的铝及其合金蚀刻清洁生产工艺，其特征在于：步骤（1）中热泵抽取高温蚀刻液的相邻两次操作间隔时长相等，含与次日操作比较的间隔时长。