[发明专利]一种电子探测器的能谱定标方法

权利要求书

1.一种电子探测器的能谱定标方法，基于定标设备实现，所述定标设备包括：经过标校的电子加速器、真空靶室、地检设备和显示终端，所述电子探测器放置在真空靶室的转台上，电子加速器用于向真空靶室发射电子束流；所述方法包括：

对电子探测器的能量响应曲线、能量分辨率和线性度进行定标；

对电子探测器的能档范围和精度进行定标。

2.根据权利要求1所述的电子探测器的能谱定标方法，其特征在于，所述对电子探测器的能量响应曲线、能量分辨率和线性度进行定标；具体包括：

步骤1-1)根据电子探测器的量程，均匀选取电子加速器的电子束流的能量点E_i，i为能量点的序号，能量点的总数n不少于8个，且包括电子探测器量程的起始能量点和截止能量点；控制电子加速器根据选取的能量点输出电子束流，对电子探测器进行照射，记录电子在电子探测器的传感器中的能量沉积谱；

步骤1-2)利用多道测量结果，利用高斯拟合得到能量点E_i的电子束流在电子探测器多道采样的能损高斯分布中心值λ_i和全能峰半高宽FWHM_i；

步骤1-3)通过仿真的方法得到当能量点E_i时，对应的电子在传感器中的能量损失值ΔE_i；

步骤1-4)通过选定能量损值ΔE_i和采样结果中心值λ_i进行线性拟合，得到电子探测器的能量响应公式：

y＝kx+b

其中，y为谱仪测量能量值，x为多道测量读出道址，k和b为拟合出的参数；

步骤1-5)通过步骤1-2)得到每个能点束流能损多道采样中心值λ_i和全能峰半高宽FWHM_i，代入步骤1-4)能量响应公式y＝kx+b，得到束流能量测量值y_i＝kλ_i+b，全能峰半高宽E_FWHMi＝k×FWHM_i；

根据能量分辨率公式计算能量点E_i的能量分辨率μ：

步骤1-6)计算线性度χ：

其中，y_i为根据电子探测器多道采样谱中心值λ_i通过能量响应公式计算得到的谱仪测量能量值。

3.根据权利要求1所述的电子探测器的能谱定标方法，其特征在于，所述对电子探测器的能档范围和能档精度进行定标，具体包括：

步骤2-1)使用电子加速器发射固定能量的电子束流；

步骤2-2)对第一能档E₁的下阈值分界点进行定标；

步骤2-3)对最高能档E_H的上阈值分界点进行定标；

步骤2-4)对中间能档的分界点进行定标。

4.根据权利要求3所述的电子探测器的能谱定标方法，其特征在于，所述步骤2-2)具体包括：

步骤2-2-1)从第一能档E₁的低端分界点E_1(low)开始，将第一能档E₁的阈值设置为0，记录入射到电子探测器的所有粒子数N；

步骤2-2-2)提高第一能档E₁的第j个阈值n_j，得到对应第一能档E₁的粒子数N_j，由此得到多组阈值和对应的第一能档E₁的粒子数；

步骤2-2-3)以阈值n_j为自变量，为因变量，拟合第一曲线；

步骤2-2-4)以阈值n_j为自变量，为因变量，拟合第二曲线；

步骤2-2-5)将第一曲线和第二曲线的交点的横坐标作为实际的阈值分界点多道的道址；

步骤2-2-6)根据能量响应公式，计算步骤2-2-5)的实际的阈值分界点多道的道址对应的能量损失ΔE_l；

步骤2-2-7)由仿真的方法得到ΔE_l对应的入射能量，作为第一能档E₁的低端分界点E_1(low)。