[发明专利]一种含氟清洗液组合物的制备方法

权利要求书

1.一种含氟清洗液组合物的制备方法，其特征在于，其包括如下步骤：将所述的含氟清洗液组合物中的各个组分混合，即得到所述的含氟清洗液组合物：

所述的含氟清洗液组合物包括下述质量分数的组分：10-30%氧化剂、0.001-0.01%还原型谷胱甘肽、0.001-0.25%半胱氨酸、1-5%氟化物、1-5%有机碱、0.01-2%螯合剂、0.01-2%缓蚀剂、0.5-3%羧酸铵、0.01-1% EO-PO聚合物L81、0.01-2% 9-蒽甲醛-1,1-二苯基腙和水，水补足余量；各组分质量分数之和为100%；

所述的氧化剂为过氧化氢、过氧化脲和过氧乙酸中一种或多种；

所述的氟化物为氟化氢；

所述的有机碱为四甲基氢氧化铵和/或胆碱；

所述的螯合剂为1,2-环己二胺-N,N,N',N'-四乙酸和/或乙二胺四乙酸；

所述的缓蚀剂为苯并三唑和/或甲苯三唑；

所述的羧酸铵为草酸铵和/或柠檬酸三铵。

2.如权利要求1所述的含氟清洗液组合物的制备方法，其特征在于，所述的含氟清洗液组合物的制备方法中，所述的混合的方式为将所述的组分中的固体组分加入到液体组分中，搅拌均匀；

和/或，所述的含氟清洗液组合物的制备方法中，所述的混合的温度为10-30℃。

3.如权利要求1所述的含氟清洗液组合物的制备方法，其特征在于，所述的含氟清洗液组合物中，所述的氧化剂的质量分数为10-15%；

和/或，所述的含氟清洗液组合物中，所述的还原型谷胱甘肽的质量分数为0.005%-0.01%；

和/或，所述的含氟清洗液组合物中，所述的半胱氨酸的质量分数为0.15-0.25%；

和/或，所述的含氟清洗液组合物中，所述的氟化物的质量分数为1.0-2.5%；

和/或，所述的含氟清洗液组合物中，所述的有机碱的质量分数为1.0-2.5%；

和/或，所述的含氟清洗液组合物中，所述的螯合剂的质量分数为0.01-1.0%；

和/或，所述的含氟清洗液组合物中，所述的缓蚀剂的质量分数为0.01-0.5%；

和/或，所述的含氟清洗液组合物中，所述的羧酸铵的质量分数为0.5-1.0%；

和/或，所述的含氟清洗液组合物中，所述的EO-PO聚合物L81的质量分数为0.01-0.05%；

和/或，所述的含氟清洗液组合物中，所述的9-蒽甲醛-1,1-二苯基腙的质量分数为0.01-0.9%。

4.如权利要求1所述的含氟清洗液组合物的制备方法，其特征在于，所述的含氟清洗液组合物中，所述的氧化剂的质量分数为15-30%；

和/或，所述的含氟清洗液组合物中，所述的氟化物的质量分数为2.5-5.0%；

和/或，所述的含氟清洗液组合物中，所述的有机碱的质量分数为2.5-5.0%；

和/或，所述的含氟清洗液组合物中，所述的螯合剂的质量分数为1.0-2.0%；

和/或，所述的含氟清洗液组合物中，所述的缓蚀剂的质量分数为0.5-2.0%；

和/或，所述的含氟清洗液组合物中，所述的羧酸铵的质量分数为1.0-3.0%；

和/或，所述的含氟清洗液组合物中，所述的EO-PO聚合物L81的质量分数为0.05-1.0%；

和/或，所述的含氟清洗液组合物中，所述的9-蒽甲醛-1,1-二苯基腙的质量分数为0.9-2.0%。

5.如权利要求1所述的含氟清洗液组合物的制备方法，其特征在于，所述的含氟清洗液组合物不含有胺类化合物、醇胺类化合物或胺-N-氧化合物；所述的胺类化合物为伯胺、仲胺、叔胺或者含有这些胺的醇类化合物；

和/或，所述的含氟清洗液组合物中，所述的氧化剂为过氧化氢和/或过氧乙酸；

和/或，所述的含氟清洗液组合物中，所述的有机碱为四甲基氢氧化铵；

和/或，所述的水为去离子水。

6.如权利要求5所述的含氟清洗液组合物的制备方法，其特征在于，所述的醇胺类化合物为三乙醇胺、N-甲基乙醇胺、N,N-二甲基二甘醇胺；

和/或，所述的胺-N-氧化合物为N-甲基吗啉氧化物。