[发明专利]一种支撑电极及加热器和单晶炉在审
| 申请号： | 202110463329.1 | 申请日： | 2021-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN113337896A | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 沈伟民 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京磐华捷成知识产权代理有限公司 11851 | 代理人： | 谢栒 |
| 地址： | 201306 上海市浦东新区中国（*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 支撑 电极 加热器 单晶炉 | ||
1.一种支撑电极，其特征在于，所述支撑电极包括石墨电极和铜电极，所述支撑电极为非通电电极，其中，
所述石墨电极位于所述铜电极的上方，所述石墨电极为中空结构以减小所述石墨电极的传热截面积，其内部填充有隔热材料以防止所述石墨电极的辐射热传入所述铜电极，从而降低所述铜电极的温度；
所述铜电极上部与所述石墨电极下部连接，所述铜电极上部插入所述石墨电极的中空结构中并与所述隔热材料接触，所述铜电极下部具有通冷却水的槽体。
2.根据权利要求1所述的支撑电极，其特征在于，所述中空结构的高度大于内径宽度。
3.根据权利要求2所述的支撑电极，其特征在于，所述中空结构的高度与内径宽度比大于1.5。
4.根据权利要求1所述的支撑电极，其特征在于，所述石墨电极采用热传导系数较小的材料。
5.根据权利要求4所述的支撑电极，其特征在于，所述石墨电极的常温热传导系数小于80W/(m·K)，高温1000℃热传导系数小于40W/(m·K)。
6.根据权利要求1所述的支撑电极，其特征在于，所述隔热材料为石墨纤维的保温固毡。
7.一种加热器，其特征在于，其包括通电电极和根据权利要求1-6任一项所述的支撑电极。
8.根据权利要求7所述的加热器，其特征在于，所述通电电极和所述支撑电极交叉对称分布于所述加热器的四周。
9.根据权利要求8所述的加热器，其特征在于，所述通电电极和所述支撑电极各为两个。
10.一种单晶炉，其特征在于，其具有根据权利要求7-9任一项所述的加热器。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海新昇半导体科技有限公司，未经上海新昇半导体科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202110463329.1/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
