[发明专利]真空泵

权利要求书

1.一种真空泵，对被排气室内的气体进行排气，其特征在于，具备：

转子；

电动机，对所述转子进行旋转驱动；

控制装置，对所述电动机进行驱动控制；

检测器，检测所述电动机的电流值、PWM信号的脉冲宽度、功耗、所述控制装置的输入电流值、功耗、所述转子的旋转速度中的至少任一个；以及

反应生成物堆积监视装置，根据基于所述检测器的检测结果的值来进行不同水平的警示的显示或信号的输出。

2.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

所述反应生成物堆积监视装置以规定的周期来比较基于所述检测结果的值和阈值，该比较结果在所述检测结果是所述转子的旋转速度的情况下累计基于所述检测结果的值小于所述阈值的次数、在所述检测结果不是所述转子的旋转速度的情况下累计基于所述检测结果的值大于所述阈值的次数，根据其累计结果来进行所述警示的显示或信号的输出。

3.根据权利要求1或权利要求2所述的真空泵，其特征在于，

所述反应生成物堆积监视装置以规定的周期来进行所述检测结果的采样，将在规定长度的期间内通过所述采样得到的被采样值的平均值作为基于所述检测结果的值。

4.根据权利要求1或权利要求2所述的真空泵，其特征在于，

所述反应生成物堆积监视装置使所述检测结果通过高频带的增益较低的低通滤波器来作为基于所述检测结果的值。

5.根据权利要求4所述的真空泵，其特征在于，

关于所述低通滤波器，所述电动机的电磁石的各相的交变电流的频率的增益低于比该频率低的频率的增益。

6.根据权利要求1或权利要求2所述的真空泵，其特征在于，

所述反应生成物堆积监视装置以规定的周期来进行所述检测结果的采样，使通过所述采样而得到的被采样值在该采样值与该采样值之前得到的被采样值的差的绝对值小于规定值的情况下，作为基于所述检测结果的值。

7.根据权利要求1或权利要求2所述的真空泵，其特征在于，

所述反应生成物堆积监视装置按时间对所述检测结果进行积分，将其积分结果作为基于所述检测结果的值。