[发明专利]离子检测器及质量分析装置

权利要求书

1.一种离子检测器，检测入射的离子，其中，

所述离子检测器具备：

第一倍增极，其接收所述离子的入射并释放带电粒子；

第二倍增极，其被赋予负电位，并且接收来自所述第一倍增极的所述带电粒子的入射并射出二次电子；

闪烁体，其具有来自所述第二倍增极的所述二次电子入射的电子入射面，将所述二次电子转换成光；

导电层，其配置于所述电子入射面；和

光电增倍管，其检测来自所述闪烁体的光。

2.根据权利要求1所述的离子检测器，其中，

所述闪烁体具有射出光的射出面，

所述光电增倍管具有使来自所述射出面的光入射的光入射窗口，

所述射出面与所述光入射窗口接近地配置。

3.根据权利要求1或2所述的离子检测器，其中，

在所述离子为正离子的情况下，所述第一倍增极被赋予负电位并将所述正离子转换成二次电子，所述第二倍增极使来自所述第一倍增极的所述二次电子入射于所述闪烁体的所述电子入射面。

4.根据权利要求1或2所述的离子检测器，其中，

在所述离子为负离子的情况下，所述第一倍增极被赋予正电位并将所述负离子转换成正离子，所述第二倍增极将来自所述第一倍增极的所述正离子转换成二次电子，且使所述二次电子入射于所述闪烁体的所述电子入射面。

5.权利要求1～4中任一项所述的离子检测器，其中，

所述闪烁体被赋予负电位，

赋予于所述第二倍增极的负电位的大小比赋予于所述闪烁体的负电位的大小大。

6.根据权利要求3或5所述的离子检测器，其中，

在所述离子为正离子的情况下，赋予于所述第二倍增极的负电位的大小是赋予于所述第一倍增极的负电位的大小和赋予于所述闪烁体的负电位的大小之间的大小。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的离子检测器，其中，

所述光电增倍管具有赋予阴极电位的侧管，

所述导电层与所述侧管电连接。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的离子检测器，其中，

所述离子检测器还具备罩，其覆盖所述第二倍增极，

所述罩具有使来自所述第一倍增极的所述带电粒子穿过的第一通过口和使来自所述第二倍增极的所述二次电子穿过的第二通过口。

9.根据权利要求8所述的离子检测器，其中，

还具备筛网，其被赋予负电位，并且覆盖所述第一通过口。

10.根据权利要求8或9所述的离子检测器，其中，

所述第一倍增极与包含所述第二倍增极、所述第二通过口、所述闪烁体的所述电子入射面的假想平面分开地配置，

来自所述第一倍增极的所述带电粒子从与所述假想平面交叉的方向入射于所述第二倍增极。

11.一种离子检测器，检测入射的离子，所述离子检测器具备：

第一倍增极，其接收所述离子的入射并释放带电粒子；

第二倍增极，其被赋予负电位，并且接收来自所述第一倍增极的所述带电粒子的入射并射出二次电子；和

二极管，其具有来自所述第二倍增极的所述二次电子入射的电子入射面，并检测入射的所述二次电子。

12.根据权利要求11所述的离子检测器，其中，

在所述离子为正离子的情况下，所述第一倍增极被赋予负电位并将所述正离子转换成二次电子，所述第二倍增极使来自所述第一倍增极的所述二次电子入射于所述电子入射面。