[发明专利]狭缝涂布式模板、制作该模板的涂布头、设备及方法

权利要求书

1.一种狭缝涂布式模板，其特征在于：包括通过一涂布头（10）相对母模板（30）表面喷涂均匀地模板胶（20），并使模板胶（20）形成固化结构，所述模板胶（20）表层通过一辊轴机构（40）辊压有一层柔性材料层（21），且所述柔性材料层（21）与所述模板胶（20）粘合在一起并形成模板。

2.根据权利要求1所述的一种狭缝涂布式模板，其特征在于，所述母模板（30）上等间距地设有若干压持槽（31），每一所述压持槽（31）的尺度为微米级或纳米级。

3.根据权利要求1所述的一种狭缝涂布式模板，其特征在于，所述柔性材料层（21）为PET薄膜。

4.一种制作模板的涂布头，其特征在于，用以制作权利要求1-3任一项所述的狭缝涂布式模板，以对所述母模板（30）表面均匀喷涂所述模板胶（20），包括上模（11）、相对上模（11）设置的下模（12）以及安装在上模（11）和下模（12）之间的垫片，上模（11）下部设有一上出料板（111），下模（12）下部设有一下出料板（120），上出料板（111）与下出料板（120）之间相对地形成有一狭缝间隙（14），以供模板胶（20）流出至所述母模板（30）表面。

5.根据权利要求4所述的制作模板的涂布头，其特征在于，所述下模（12）上部设有一用以注入模板胶（20）的进料口（121），下模（12）内侧设有以供模板胶（20）流通的流道型腔（122），并通过一定压力驱使模板胶（20）从流道型腔（122）沿上模（11）和下模（12）下部的狭缝间隙（14）处均匀地喷涂至母模板（30）上。

6.根据权利要求5所述的制作模板的涂布头，其特征在于，所述流道型腔（122）包括进口腔（1221）、对称地形成在进口腔（1221）两侧的弯曲腔（1222）以及形成在两弯曲腔（1222）之间的直流腔（1223），弯曲腔（1222）与直流腔（1223）端部均形成有出口腔（1224），出口腔（1224）端部安装有喷头，进口腔（1221）与进料口（121）贯通，出口腔（1224）正对狭缝间隙（14）。

7.一种制作模板的设备，包括涂布头（10）以及辊轴机构（40），其特征在于，涂布头（10）为权利要求4-6任一项所述的涂布头，以对母模板（30）表面均匀喷涂模板胶（20），模板胶（20）形成固化结构，通过所述辊轴机构（40）在模板胶（20）表层辊压柔性材料层（21），且所述柔性材料层（21）与所述模板胶（20）粘合在一起并形成权利要求1-3任一项所述的狭缝涂布式模板。

8.一种制作模板的方法，其特征在于，通过权利要求7所述的设备制作权利要求1-3任一项所述的狭缝涂布式模板，包括以下步骤：

步骤1）：通过胶泵将模板胶（20）沿进料口（121）进入涂布头（10）内部的流道型腔（122）内，并进一步通过压力驱使模板胶（20）从流道型腔（122）沿上模（11）和下模（12）下部的狭缝间隙（14）处喷出至母模板30上；

步骤2）：模板胶（20）固化；

步骤3）：固化模板胶（20）后，在模板胶（20）表层通过辊轴机构（40）辊压有一层柔性材料层（21），柔性材料层（21）与模板胶（20）粘合在一起；

步骤4）：将母模板（30）沿模板胶（20）剥离后，模板胶（20）与柔性材料层（21）形成模板，压印模板的图案与母模板（30）的压持槽（31）相对。

9.根据权利要求8所述制作模板的方法，其特征在于，所述步骤2中的模板胶（20）固化通过在模板胶（20）两侧对应设置两列相干光源发生干涉，以对模板胶（20）形成照射区域，在所述模板胶（20）上形成干涉条纹，并实现模板胶（20）固化。

10.根据权利要求9所述的制作模板的方法，其特征在于，所述相干光源为紫外线激光，两列紫外线激光的频率相同，相位差恒定，振动方向一致，两列紫外线激光发生干涉，在模板胶（20）上产生明暗相间的干涉条纹，进而实现模板胶（20）固化。