[发明专利]双光束激光旋转制备锥度可控微孔的装置及加工方法在审
| 申请号： | 202110466702.9 | 申请日： | 2021-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN113020821A | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 张杰;陶沙;秦国双 | 申请（专利权）人： | 英诺激光科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/382 | 分类号： | B23K26/382;B23K26/064 |
| 代理公司： | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人： | 李燕娥 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区科技*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光束 激光 旋转 制备 锥度 可控 微孔 装置 加工 方法 | ||
1.双光束激光旋转制备锥度可控微孔的装置，其特征在于，包括光束处理组件、分束组件以及透镜，所述光束处理组件与所述分束组件连接，所述分束组件以及所述光束处理组件分别设于所述透镜的上方，所述光束处理组件设于所述分束组件的上方。
2.根据权利要求1所述的双光束激光旋转制备锥度可控微孔的装置，其特征在于，所述分束组件包括分束镜。
3.根据权利要求2所述的双光束激光旋转制备锥度可控微孔的装置，其特征在于，所述分束组件还包括第四反射镜，所述分束镜与所述光束处理组件连接，所述第四反射镜与所述分束镜连接。
4.根据权利要求1至3任一项所述的双光束激光旋转制备锥度可控微孔的装置，其特征在于，所述光束处理组件包括反射镜组件。
5.根据权利要求4所述的双光束激光旋转制备锥度可控微孔的装置，其特征在于，所述反射镜组件包括顺次连接的第一反射镜、第二反射镜以及第三反射镜，所述第三反射镜与所述分束镜连接。
6.根据权利要求1至3任一项所述的双光束激光旋转制备锥度可控微孔的装置，其特征在于，所述光束处理组件包括顺次连接的第一楔形镜以及第二楔形镜，所述第二楔形镜与所述分束镜连接。
7.根据权利要求1所述的双光束激光旋转制备锥度可控微孔的装置，其特征在于，还包括激光器，所述激光器与所述光束处理组件连接。
8.根据权利要求7所述的双光束激光旋转制备锥度可控微孔的装置，其特征在于，所述激光器所发射的激光光源的红外波长为1030nm至1064nm。
9.根据权利要求7所述的双光束激光旋转制备锥度可控微孔的装置，其特征在于，所述激光器所发射的激光光源的绿光波长为515nm至532nm。
10.根据权利要求7所述的双光束激光旋转制备锥度可控微孔的装置，其特征在于，所述激光器所发射的激光光源的紫外波长为343nm至355nm。
11.双光束激光旋转制备锥度可控微孔的装置的加工方法，其特征在于，包括：
激光光源垂直射入光束处理组件后，再经过分束组件进行光束的分束，形成对称双光束，对称双光束通过透镜聚焦后对产品进行孔的加工。
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