[发明专利]一种窄线宽金属型低压压敏器件及电流体打印的制备方法有效

专利信息
申请号: 202110467238.5 申请日: 2021-04-28
公开(公告)号: CN113223791B 公开(公告)日: 2022-07-26
发明(设计)人: 姚日晖;梁宏富;宁洪龙;钟锦耀;刘泰江;张旭;张观广;梁志豪;杨跃鑫;彭俊彪 申请(专利权)人: 华南理工大学
主分类号: H01C7/10 分类号: H01C7/10;H01C17/00
代理公司: 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 代理人: 何淑珍;江裕强
地址: 510640 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 窄线宽 金属 压压 器件 流体 打印 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种窄线宽金属型低压压敏器件,其特征在于,所述压敏器件的成分由纳米银颗粒、乙基纤维素和聚乙烯吡咯烷酮组成,所述压敏器件包括主体部分和两个外接点,所述外接点位于主体部分两端。

2.根据权利要求1所述的窄线宽金属型低压压敏器件,其特征在于,所述主体部分的线长为100-1000um,宽为1-10um,高为30-300nm;所述外接点的直径为20-100um,高为30-300nm。

3.根据权利要求1所述的窄线宽金属型低压压敏器件,其特征在于,所述纳米银颗粒的粒径为1~50nm。

4.电流体打印权利要求1-3任一项所述的窄线宽金属型低压压敏器件的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

将基底清洗和干燥处理,然后采用电流体打印将纳米银溶胶在基底上打印压敏器件,将打印的压敏器件退火固化,得到窄线宽金属型低压压敏器件。

5.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,所述基底的材质为n型硅,p型硅,玻璃基板中的一种。

6.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,所述纳米银溶胶为纳米银颗粒墨水和聚乙烯吡咯烷酮溶液按照质量比为1:3~6超声混合2~3小时后得到。

7.根据权利要求6所述的制备方法,其特征在于,所述纳米银颗粒墨水由以下方法制得:将醋酸银与混合溶剂混合,加入乙醇胺并搅拌2~3个小时,得到纳米银颗粒墨水;其中,所述醋酸银、混合溶剂和乙醇胺的比例为1~2g:1~5ml:0.01~0.05mol,所述混合溶剂为体积比为5~10:5~10:1的乙二醇、乙醇和油酸的混合物。

8.根据权利要求6所述的制备方法,其特征在于,所述聚乙烯吡咯烷酮溶液由重均分子量200000~500000的聚乙烯吡咯烷酮和乙基纤维素溶于乙二醇单甲醚得到;其中,所述聚乙烯吡咯烷酮溶液中聚乙烯吡咯烷酮的质量浓度为10~35%,乙基纤维素的质量浓度为0.5~3%。

9.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,所述清洗指依次用异丙醇、四氢呋喃、碱性清洗液、去离子水和异丙醇超声震荡基底5~10min;所述干燥的温度为65~75℃,干燥至恒重;所述退火固化的温度为200~500℃,退火固化的时间为10~30min。

10.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,所述电流体打印所用的电流体打印机型号为SIJ-S150;所述电流体打印的参数为:电压200~1200V,电压频率100~1500Hz,电压波形为方波、三角波和正弦波中的任意一种,移动速度5~50mm/s。

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