[发明专利]电化学式传感器的制造方法和电化学式传感器

权利要求书

1.一种电化学式传感器的制造方法，其包括下述工序：

电极形成工序，在绝缘性基板上形成由多孔质的导电性材料构成的电极；和

抗蚀剂形成工序，利用溶液状的具有非导电性的抗蚀剂对所述电极上的覆膜区域进行覆膜，使所述抗蚀剂渗透至所述多孔质的连通孔，由此调整所述电极的电阻值。

2.如权利要求1所述的电化学式传感器的制造方法，其中，还包括确定所述覆膜区域的工序，所述覆膜区域是在所述抗蚀剂形成工序中利用所述抗蚀剂进行覆膜的所述电极上的区域。

3.如权利要求1或2所述的电化学式传感器的制造方法，其中，

准备所述覆膜区域不同的复数个抗蚀剂印刷图案，

在所述抗蚀剂形成工序中，利用抗蚀剂对与选自所述复数个抗蚀剂印刷图案中的一个抗蚀剂印刷图案对应的所述覆膜区域进行覆膜。

4.如权利要求3所述的电化学式传感器的制造方法，其中，

在所述电极上设定有复数个调整区域，从所述复数个调整区域中选择所述覆膜区域，

在所述复数个抗蚀剂印刷图案之间，所述调整区域的数量不同。

5.如权利要求1～4中任一项所述的电化学式传感器的制造方法，其中，所述电极具备测定部和与所述测定部连接的引出部，所述覆膜区域被规定在所述引出部上。

6.如权利要求1～5中任一项所述的电化学式传感器的制造方法，其中，在所述抗蚀剂形成工序中，利用所述抗蚀剂对基于与所述电极的电阻值对应的指标信息所确定的所述覆膜区域进行覆膜。

7.如权利要求6所述的电化学式传感器的制造方法，其中，

预先设定了作为所述电极的电阻值的目标值的目标电阻值和作为用于达到所述目标电阻值的覆膜区域的标准覆膜区域，

所述指标信息是表示所述电极的电阻值相对于所述目标电阻值的高低的信息，在所述电极的电阻值高于所述目标电阻值的情况下，使所述覆膜区域小于所述标准覆膜区域，在所述电极的电阻值低于所述目标电阻值的情况下，使所述覆膜区域大于所述标准覆膜区域。

8.如权利要求6或7所述的电化学式传感器的制造方法，其中，所述指标信息是与测试用传感器的电极的电阻值的实测值对应的信息，所述测试用传感器利用与所述电极相同的材料和相同的制造条件形成，且规定图案的覆膜区域由所述抗蚀剂进行了覆膜。

9.如权利要求8所述的电化学式传感器的制造方法，其中，

预先设定了作为所述电极的电阻值的目标值的目标电阻值，

在所述抗蚀剂形成工序中，利用所述抗蚀剂对基于所述测试用传感器的电极的电阻值的实测值与所述目标电阻值之差所确定的所述覆膜区域进行覆膜。

10.如权利要求8或9所述的电化学式传感器的制造方法，其中，所述测试用传感器的电极的电阻值的实测值是包含所述规定图案的覆膜区域的规定区间的电阻值。

11.如权利要求1～10中任一项所述的电化学式传感器的制造方法，其中，所述多孔质的导电性材料为碳。

12.如权利要求1～11中任一项所述的电化学式传感器的制造方法，其中，所述抗蚀剂包含丙烯酸类树脂。

13.如权利要求1～12中任一项所述的电化学式传感器的制造方法，其中，在所述电极上不设置溶解于液态试样的试剂。

14.一种电化学式传感器，其包括：

绝缘性基板；

电极，由具有多孔质的连通孔的导电性材料形成在所述绝缘性基板上；以及

对所述电极的电阻值进行调整的抗蚀剂，其被覆所述电极上的覆膜区域，并渗透至所述多孔质的连通孔中。