[发明专利]光子集成芯片上的轨道角动量滤波器实现方法

权利要求书

1.一种光子集成芯片上的轨道角动量滤波器实现方法，其特征在于，利用飞秒激光直写加工出剖面为单臂螺线型的直波导阵列，通过对直写功率和结构参数的调控使加工的特定波导具备只通过特定阶数的轨道角动量光束的能力，即轨道角动量滤波；

所述的直波导阵列，为12根平行单模波导，该阵列的剖面构成单臂螺线型；

所述的直波导阵列，具体为极坐标系下参数方程为r=a+b*θ的阿基米德螺线，其中：r为径向变量，θ为角向变量，a为圆心距离；b为螺旋半径；

所述的飞秒激光直写，具体为脉冲能量2.7μJ，波长为513nm，直写功率为135 mw，直写速度为5 mm/s。

2.根据权利要求1所述的光子集成芯片上的轨道角动量滤波器实现方法，其特征是，所述的剖面，与飞秒激光直写方向呈90°夹角。

3.根据权利要求1所述的光子集成芯片上的轨道角动量滤波器实现方法，其特征是，所述的加工，通过飞秒激光直写12次在光子集成芯片的表面深度为表面以下170 μm处扫描得到直波导阵列。

4.根据权利要求1所述的光子集成芯片上的轨道角动量滤波器实现方法，其特征是，所述的光子集成芯片，采用硼硅酸盐玻璃、熔融石英玻璃制成。