[发明专利]一种靶材组件及其加工方法

权利要求书

1.一种靶材组件的加工方法，其特征在于，所述加工方法包括以下步骤：

(1)将靶材和背板结合后进行机加工，所述机加工后靶材的侧面为斜面，与靶材焊接面的夹角为15～45度，得到初级靶材组件；

(2)将步骤(1)得到的初级靶材组件中靶材的溅射面边缘和部分靶材侧面区域进行滚花处理，所述靶材侧面的滚花区域的边界距靶材溅射面的竖直距离为靶材高度的1/3～1/2，所述滚花处理形成的滚花花纹为直条形花纹，所述直条形花纹包括至少两段，相邻两段花纹呈交叉错位式结构排列，所述滚花的花纹密度为75～90TPI，花纹深度为60～90μm，所述滚花处理后滚花区域的表面粗糙度为20～35μm；对靶材侧面的剩余区域和部分背板区域进行喷砂处理，所述背板表面的喷砂区域的宽度为15～25mm，所述喷砂处理后喷砂区域的表面粗糙度为5～8μm，得到靶材组件。

2.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，步骤(1)所述靶材由锭材经切削以及热塑性变形得到。

3.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，步骤(1)所述靶材和背板结合的方式为焊接结合。

4.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，步骤(1)所述靶材包括钛靶材、铝靶材、钽靶材或钨钛合金靶材中任意一种。

5.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，步骤(1)所述背板包括铝合金背板或铜合金背板。

6.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，步骤(1)所述机加工包括：对靶材侧面加工形成倒角，使得靶材溅射面的尺寸小于靶材焊接面的尺寸。

7.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，步骤(2)所述靶材的溅射面边缘的滚花区域的宽度为8～15mm。

8.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，步骤(2)所述靶材侧面的滚花区域为靠近靶材溅射面的部分区域。

9.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，步骤(2)相邻两段花纹中交叉部分的长度占单段花纹长度的20～25％。

10.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，步骤(2)所述喷砂处理的区域包括靶材侧面上滚花处理以外的区域和自靶材和背板连接线向外延伸的部分背板表面区域。

11.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，所述加工方法包括以下步骤：

(1)将靶材和背板焊接结合后进行机加工，所述机加工包括：对靶材侧面加工形成倒角，使得靶材溅射面的尺寸小于靶材焊接面的尺寸，所述机加工后靶材的侧面为斜面，与靶材焊接面的夹角为15～45度，得到初级靶材组件；

(2)将步骤(1)得到的初级靶材组件中靶材的溅射面边缘和部分靶材侧面区域进行滚花处理，所述靶材的溅射面边缘的滚花区域的宽度为8～15mm，靶材侧面的滚花区域为靠近靶材溅射面的部分区域，靶材侧面滚花区域的边界距靶材溅射面的竖直距离为靶材高度的1/3～1/2，所述滚花处理形成的滚花花纹包括至少两段、呈交叉错位式结构排列的直条形花纹，相邻两段花纹中交叉部分的长度占单段花纹长度的20～25％，所述滚花的花纹密度为75～90TPI，花纹深度为60～90μm，滚花区域的表面粗糙度为20～35μm；

对靶材侧面上滚花处理以外的区域和自靶材和背板连接线向外延伸15～25mm的背板表面区域进行喷砂处理，喷砂区域的表面粗糙度为5～8μm，得到靶材组件。

12.一种根据权利要求1-11任一项所述的加工方法制备得到的靶材组件。