[发明专利]一种原子力显微镜长臂探针的制备方法

权利要求书

1.一种原子力显微镜长臂探针的制备方法，其特征在于该制备方法步骤包括：

步骤S1：微杆的固定；

步骤S2：微胶滴的准备；

步骤S3：探针的制作；

所述步骤S1：微杆的固定包括：

1)制作微杆，使用微电极拉丝仪，将玻璃棒拉制成细丝状的微杆；

2)拉制成功后，将所述玻璃棒从中部剪断，分成玻璃棒A和玻璃棒B两部分；

3)用洁净的镊子夹取所述玻璃棒A部分上的微杆，并利用镊子与所述微杆间的静电粘附作用将所述微杆垂直固定在镊子末端；

4)把截取好所述微杆后的镊子放在事先备好的支架上，待用；

所述步骤S2：微胶滴的准备包括：

1)取一定量的紫外固化胶，滴在洁净的玻璃片上；

2)利用所述玻璃棒B上的微杆蘸取载玻片上的紫外固化胶，借助表面张力效应在微杆末端形成微米级的紫外固化胶液滴，待用；

3)蘸取过后，将所述玻璃棒B固定在专用的固定装置上，并将所述固定装置放在原子力显微镜的样品台，正对原子力显微镜的探针夹下方的位置；

所述步骤S3：探针的制作包括：

1)用纯净的氮气将原子力显微镜夹持探针的探针夹上的灰尘吹净，将用于制备长臂探针的无针尖悬臂从盒子里面用干净的镊子取出，固定在所述探针夹的相应位置上，待探针固定稳固之后，取下原子力显微镜的扫描头，将固定好探针的所述探针夹紧固在原子力显微镜的扫描头上，调整激光，使其对准无针尖悬臂；

2)安装探针，运行原子力显微镜的contactin air模式，移动玻璃棒的所述固定装置，确保紫外固化胶液滴在所述无针尖悬臂前端的下方；

3)将所述探针夹上的所述无针尖悬臂靠近胶水液滴，使胶水液滴与所述无针尖悬臂紧密贴合，当胶水液滴完全吸附在所述无针尖悬臂上时，退回探针并移走玻璃棒的所述固定装置；

4)将镊子连同支架放在样品台上，确保镊子上的微杆正对所述无针尖悬臂上胶水液滴的下方，向下移动所述无针尖悬臂，使所述无针尖悬臂与所述微杆通过胶水的作用紧密贴合在一起；

5)确保所述无针尖悬臂与所述微杆已经紧密贴合后，用紫外光照射，使其固化，照射一段时间之后，将紫外光光源撤去，此时所述微杆和所述无针尖悬臂已经紧密地粘附在一起，退回所述无针尖悬臂，所述微杆与所述镊子分离，此时，便得到了原子力显微镜长臂探针。