[发明专利]一种基于点激光测试产品平面度方法

说明书

本发明涉及平面度检测技术领域，涉及一种基于点激光测试产品平面度方法。本发明采用点激光、相机获得待测产品移动后的激光坐标数据、图像坐标数据，可以实时获取待测产品表面多点的数据，有效地提高了平面度误差的测量效率；通过平面度误差评定方法对获得数据进行处理计算待测产品的平面度信息，确定待测产品平面度，能够程序化地迅速得到平板的平面度误差，不需要人工过多干预，降低了劳动强度，具有操作过程简单、工作效率高的效果。

技术领域

本发明涉及平面度检测技术领域，涉及一种基于点激光测试产品平面度方法。

背景技术

平面度是指基片具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差。平面度测量是指被测实际表面对其理想平面的变动量。目前平面度的测量方法主要有塞尺测量法、液平面法、打表测量法等。

现有技术中平面度的测量方法都是采用人工进行测量，其检测效率较低、精度较差，结果不够全面，只能检测零件边缘等部分，不适合产线的批量性生产检测。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种有效地提高了平面度误差的测量效率，能够程序化地迅速得到平板的平面度误差，不需要人工过多干预的基于点激光测试产品平面度方法。

为了解决上述技术问题，本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种基于点激光测试产品平面度方法，包括：

将待测产品放置在XY运动平台上；

通过相机获得待测产品的图像后点激光照射在待测产品中心点，以此获得图像坐标数据和中心点的激光坐标数据；

将相机获得的图像坐标数据转换为世界坐标系的坐标数据；

待测产品在XY运动平台带动下进行位置移动，通过点激光、相机获得待测产品移动后的激光坐标数据、与图像坐标数据相匹配的坐标数据；

根据激光坐标数据与坐标数据使用平面度误差评定方法计算所述待测产品的平面度信息。

在发明一个较佳实施例中，所述平面度误差评定方法为最小包容区域法、最小二乘法或对角线法。

在发明一个较佳实施例中，待测产品在XY运动平台带动下进行位置移动，包括：

通过相机获得3×3矩阵图像坐标数据，图像坐标数据与世界坐标系的坐标数据转换后，XY运动平台带动待测产品在其平面上沿X轴或者Y轴连续移动多次，即与图像坐标数据相对应的得到9个点的3×3矩阵坐标数据。

在发明一个较佳实施例中，通过点激光、相机获得待测产品移动后的激光坐标数据、图像坐标数据之前，包括：

通过XY运动平台带动待测产品多次移动得到多组测量点的坐标数据和图像坐标数据，通过每组图像坐标数据与坐标数据之间的比例关系以及世界坐标系与相机坐标系夹角，完成相机坐标系中的图像坐标数据与世界坐标系中的坐标数据的转换。

在发明一个较佳实施例中，还包括：

XY运动平台带动待测产品在其平面上沿X轴或者Y轴连续移动多次获得九个测量点的激光坐标数据和坐标数据；

获得世界坐标系X方向连线的两个点的坐标数据以及对应的图像坐标数据，通过两点间图像坐标数据中的像素距离与坐标数据中的坐标距离的比值，即为相机坐标系X方向与世界坐标系X方向的像素比；

同样，获得世界坐标系Y方向连线的两个点的坐标数据以及对应的图像坐标数据，通过两点间图像坐标数据中的像素距离与坐标数据中的坐标距离的比值，即为相机坐标系Y方向与世界坐标系Y方向的像素比。

在发明一个较佳实施例中，所述像素比为单条连线的两个端点的像素距离与坐标距离的比值或者多条连线两个点的像素距离与坐标距离的比值的平均值。