[发明专利]一种钼钛合金靶坯的制备方法

权利要求书

1.一种钼钛合金靶坯的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括如下步骤：

(1)将钼粉进行在保护气氛下第一保温处理，之后和钛粉进行混合，得到混粉；

(2)将步骤(1)得到的混粉依次进行冷等静压处理、包套处理、脱气处理、热等静压及第二保温处理，得到所述钼钛合金靶坯。

2.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤(1)所述保护气氛包括氢气；

优选地，步骤(1)所述第一保温处理的保温温度为500-600℃；

优选地，步骤(1)所述第一保温处理的保温时间为2-3h。

3.如权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，步骤(1)所述混粉中钼粉和钛粉以原子百分含量计为1:(1-1.1)；

优选地，步骤(1)所述混合的时间为24-48h。

4.如权利要求1-3任一项所述的制备方法，其特征在于，步骤(1)所述混粉中钼粉的粒度为8-15μm；

优选地，步骤(1)所述混粉中钛粉的粒度为45-70μm。

5.如权利要求1-4任一项所述的制备方法，其特征在于，步骤(2)所述冷等静压处理的压力为190-250MPa；

优选地，步骤(2)所述冷等静压处理的时间为5-15min。

6.如权利要求1-5任一项所述的制备方法，其特征在于，步骤(2)所述包套处理为将所述冷等静压处理后的混粉置于包套中，然后对所述包套进行焊接。

7.如权利要求1-6任一项所述的制备方法，其特征在于，步骤(2)所述脱气处理的温度为450-700℃；

优选地，步骤(2)所述脱气处理的终点为包套内的真空度＜0.001Pa。

8.如权利要求1-7任一项所述的制备方法，其特征在于，步骤(2)所述热等静压的保温温度为1050-1150℃；

优选地，步骤(2)所述热等静压的压强为140-180MPa；

优选地，步骤(2)所述热等静压的时间为4-6h。

9.如权利要求1-8任一项所述的制备方法，其特征在于，步骤(2)所述第二保温处理在真空度＜0.005Pa下进行；

优选地，步骤(2)所述第二保温处理的保温温度为1000-1200℃；

优选地，步骤(2)所述第二保温处理的保温时间为2-4h。

10.如权利要求1-9任一项所述的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括如下步骤：

(1)将钼粉进行在保护气氛下第一保温处理，之后和钛粉进行混合，得到混粉；

(2)将步骤(1)得到的混粉依次进行冷等静压处理、包套处理、脱气处理、热等静压及第二保温处理，得到所述钼钛合金靶坯；

步骤(1)所述保护气氛包括氢气；所述第一保温处理的保温温度为500-600℃；所述第一保温处理的保温时间为2-3h；所述混粉中钼粉和钛粉以原子百分含量计为1:(1-1.1)；所述混合的时间为24-48h；所述混粉中钼粉的粒度为8-15μm；所述混粉中钛粉的粒度为45-70μm；

步骤(2)所述冷等静压处理的压力为190-250MPa；所述冷等静压处理的时间为5-15min；所述包套处理为将所述冷等静压处理后的混粉置于包套中，然后对所述包套进行焊接；所述脱气处理的温度为450-700℃；所述脱气处理的终点为包套内的真空度＜0.001Pa；所述热等静压的保温温度为1050-1150℃；所述热等静压的压强为140-180MPa；所述热等静压的时间为4-6h；所述第二保温处理在真空度＜0.005Pa下进行；所述第二保温处理的保温温度为1000-1200℃；所述第二保温处理的保温时间为2-4h。