[发明专利]一种气体混合装置在审
申请号: | 202110477906.2 | 申请日: | 2021-04-29 |
公开(公告)号: | CN113186518A | 公开(公告)日: | 2021-07-30 |
发明(设计)人: | 邓新宇;王港龙 | 申请(专利权)人: | 河南芯钻新材料有限公司 |
主分类号: | C23C16/511 | 分类号: | C23C16/511;C23C16/455;C23C16/27 |
代理公司: | 河南商盾云专利代理事务所(特殊普通合伙) 41199 | 代理人: | 谷利平 |
地址: | 453000 河南省新乡市平原示范*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 气体 混合 装置 | ||
1.一种气体混合装置,包括混气罐(1)和螺旋混合器芯(10),其特征在于:所述混气罐(1)一端设置有左端盖(2),所述左端盖(2)一侧开设有出气管(3),所述出气管(3)内侧设置有管接头(4),所述混气罐(1)内部一侧开设有内部出气管口(13),所述混气罐(1)另一端设置有右端盖(5),所述混气罐(1)外壁设置有进气管(12);
所述进气管(12)包括有进气管a(6)、进气管b(7)、进气管c(8)和进气管d(9),所述混气罐(1)外壁设置有进气管a(6),所述进气管a(6)一侧设置有进气管b(7),所述进气管b(7)一侧设置有进气管c(8),所述进气管c(8)一侧设置有进气管d(9),所述混气罐(1)内部设置有螺旋混合器芯(10)。
2.根据权利要求1所述的一种气体混合装置,其特征在于:所述进气管(12)设置有若干组,按流量从大到小的次序排列,最小流量进气口靠近混气罐(1)的内部出气管口(13)。
3.根据权利要求1所述的一种气体混合装置,其特征在于:所述混气罐(1)内壁共开设有若干组进气口(11),所述进气口(11)分别与所述进气管a(6)、所述进气管b(7)、所述进气管c(8)和所述进气管d(9)一一对应,且所述进气口(11)均切向进入混气罐(1)内部。
4.根据权利要求1或3所述的一种气体混合装置,其特征在于:所述进气管(12)均可以简化设计成不切向进入混气罐(1)内部。
5.根据权利要求1所述的一种气体混合装置,其特征在于:所述进气管a(6)至所述进气管d(9)气体组分流量依次逐级递减,最小流量进气口在混气罐(1)的内部出气管口(13)一端。
6.根据权利要求1或5所述的一种气体混合装置,其特征在于:所述混气罐(1)的内部出气管口(13)与出气管(3)可以在混气罐(1)同一端,所述混气罐(1)的内部出气管口(13)与出气管(3)可以不在同一端。
7.根据权利要求1所述的一种气体混合装置,其特征在于:所述螺旋混合器芯(10)与所述右端盖(5)内壁固定连接,所述螺旋混合器芯(10)呈螺旋状叶片结构。
8.根据权利要求1所述的一种气体混合装置,其特征在于:所述混气罐(1)、所述左端盖(2)与所述右端盖(5)之间采用全焊透焊接结构,渗漏率为2.4*10-9pa-1.4*10-11pa。
9.根据权利要求1所述的一种气体混合装置,其特征在于:所述管接头(4)外壁与所述出气管(3)内壁采用螺纹旋合的方式相互套装适配。
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C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
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C23C16-02 .待镀材料的预处理
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的