[发明专利]一种铑钌合金电镀工艺

权利要求书

1.一种铑钌合金电镀工艺，其特征在于：包括如下步骤：

(1)超声波脱脂：将金属制品进行超声波热脱脂处理，然后水洗吹干；

(2)一次活化：将超声波除油后的金属制品进行酸洗活化，然后水洗吹干；

(3)镀铜：将一次活化后的金属制品进行镀铜处理，然后水洗吹干；

(4)二次活化：将镀铜后的金属制品进行酸洗活化，然后水洗吹干；

(5)镀镍：将二次活化后的金属制品进行镀镍处理，然后水洗吹干；

(6)镀金：将镀镍后的金属制品进行镀金处理，然后水洗吹干；

(7)镀铑钌：将镀金后的金属制品进行镀铑钌处理，然后水洗吹干；

(8)保护：将电镀后的金属制品进行封孔处理，然后水洗烘干。

2.根据权利要求1所述的一种铑钌合金电镀工艺，其特征在于：所述步骤(1)中，超声波脱脂使用碱性溶液，成分为：质量分数为2％-6％的脂肪酸甲酯乙氧基化物磺酸盐，质量分数为15％-25％的氢氧化钠，其余为水。

3.根据权利要求1所述的一种铑钌合金电镀工艺，其特征在于：所述步骤(2)和所述步骤(4)中，酸洗活化采用质量分数为10％-20％的硫酸溶液。

4.根据权利要求1所述的一种铑钌合金电镀工艺，其特征在于：所述步骤(3)中，镀铜液的溶液成分为：硫酸铜80-120g/L、硫酸140-180g/L、盐酸0.1-0.5g/L、聚乙二醇0.1-0.3g/L、硅酸钠0.2-0.6g/L、葡糖酸钠0.4-0.8g/L、巯基乙烷磺酸盐0.04-0.08g/L、二硫代对苯二甲酸哌啶盐0.02-0.06g/L和1-乙基-1H-咪唑-2-硫醇0.1-0.3g/L。

5.根据权利要求1所述的一种铑钌合金电镀工艺，其特征在于：所述步骤(5)中，镀镍液的溶液成分为：氯化镍150-250g/L、酒石酸钾钠20-60g/L、二苯磺酰亚胺0.5-1.5g/L、β-萘磺酸0.1-0.5g/L和盐酸80-120mL/L。

6.根据权利要求1所述的一种铑钌合金电镀工艺，其特征在于：所述步骤(6)中，镀金液的溶液成分为：亚硫酸金钠5-15g/L、柠檬酸钾20-40g/L、硫代硫酸钾30-50g/L、柠檬酸5-15g/L、乙二胺四乙酸钠1-5g/L、丙炔基磺酸钠2-6mg/L、巯基丙烷磺酸0.5-1.5g/L和N-亚硝基苯胲胺0.1-0.3g/L。

7.根据权利要求1所述的一种铑钌合金电镀工艺，其特征在于：所述步骤(7)中，镀铑钌的溶液成分为：硫酸铑1-5g/L、硫酸20-60mL/L、三氯化钌0.5-1.5g/L和氨基磺酸40-80g/L。

8.根据权利要求1所述的一种铑钌合金电镀工艺，其特征在于：所述步骤(8)中，封孔采用水性封孔剂羟丙基纤维素或聚维酮进行封孔；或者，采用油性封孔剂油酸三乙醇胺皂进行封孔。