[发明专利]复合显微干涉检测校准装置及校准方法

权利要求书

1.复合显微干涉检测校准装置，其特征在于，包括检测调节机构、显微干涉机构、载物机构；所述检测调节机构包括基座、支撑柱、支撑连接件及驱动电机，所述支撑柱纵向设置于基座上，所述支撑连接件沿所述支撑柱滑动设置，所述驱动电机与支撑连接件连接并带动支撑连接件运动；所述显微干涉机构包括显微组件、安装部及显微调节部，所述显微组件均设于安装部上，所述安装部与显微调节部之间活动配合，所述显微调节部与支撑连接件连接；所述载物机构设于基座上，所述载物机构包括用于放置被测物体的载物扫描台。

2.如权利要求1所述复合显微干涉检测校准装置，其特征在于，所述检测调节机构还包括定位手轮，所述支撑连接件外嵌套于所述支撑柱上，所述定位手轮设于所述支撑连接件远离与显微调节部连接的一侧，所述定位手轮上设有定位轴，所述定位轴穿过支撑连接件并位于支撑连接件与支撑柱之间。

3.如权利要求2所述复合显微干涉检测校准装置，其特征在于，所述检测调节机构还包括安装底座，所述基座设于安装底座上，所述基座与安装底座设有垫块，所述垫块底面上设有正交线段的纹路。

4.如权利要求1所述复合显微干涉检测校准装置，其特征在于，所述安装部沿显微调节部的水平及竖直方向活动设置，所述显微组件包括第一显微测头及第二显微测头，所述第一显微测头及第二显微测头均位于所述安装部靠近载物扫描台的一侧，所述第一显微测头与第二显微测头之间左右间隔设置。

5.如权利要求4所述复合显微干涉检测校准装置，其特征在于，所述显微组件还包括第一进光部及第二进光部，所述第一进光部设于安装部的左侧，所述第二进光部设于安装部的右侧。

6.如权利要求5所述复合显微干涉检测校准装置，其特征在于，还包括干涉光源机构，所述干涉光源机构包括第一光源及第二光源，所述第一光源上设有第一出光部，所述第二光源上设有第二出光部，所述第一出光部与第一进光部连接，所述第二出光部与第二进光部连接。

7.如权利要求1所述复合显微干涉检测校准装置，其特征在于，所述载物机构还包括线性微调机构及倾斜微调机构，所述线性微调机构及倾斜微调机构设于载物扫描台与基座之间，所述载物扫描台位于显微干涉机构的下方。

8.如权利要求1至7任一项所述复合显微干涉检测校准装置，其特征在于，还包括信号控制器、控制数据光纤及计算机，所述信号控制器与载物扫描台之间通过控制数据光纤连接，所述计算机与信号控制器电性连接。

9.如权利要求1至7任一项所述复合显微干涉检测校准装置，其特征在于，还包括隔振底座，所述检测调节机构、显微干涉机构、载物机构均安装于所述隔振底座上。

10.复合显微干涉检测校准装置的校准方法，其特征在于，包括以下步骤：

将被测物体放置于载物扫描台上，驱动电机工作，驱动支撑连接件沿支撑柱移动，支撑连接件带动显微干涉机构的安装部移动，显微组件靠近被测物体；

通过调整显微调节部，调节显微组件至微区表面清晰图像的测量范围内；

当显微组件采集的干涉零级条纹不明显时，通过调整载物扫描台，获得不超过两级干涉条纹；

调节显微干涉机构与被测物体的相对位置，在复合干涉场波列相干区间内采集干涉仪信号并计算与被测物体的示值差。