[发明专利]一种PBF增材制造同轴光路在线扫查的装置及方法

权利要求书

1.一种PBF增材制造同轴光路在线扫查的装置，其包括打印激光部和检测激光部，其特征在于：

所述打印激光部包括第一工控机、干涉仪、光束准直器、打印激光器、第一扩束镜、合束镜、第一振镜和场镜；所述第一工控机、打印激光器、第一扩束镜、合束镜、第一振镜和场镜用于形成打印激光光束；

所述激励激光部包括第二工控机、激励激光器、第二扩束镜、动态聚焦镜和第二振镜；所述第二工控机、激励激光器、第二扩束镜、动态聚焦镜和第二振镜形成用于检测的激励激光光束；

第一工控机、干涉仪、光束准直器、合束镜、第一振镜和场镜用于形成检测激光光束，所述检测激光光束受到激励激光光束在打印缺陷上的作用信号依次通过所述场镜、第一振镜合束镜、光束准直器、干涉仪反馈至第一工控机用于形成缺陷信号。

2.一种基于上述装置的扫查方法，其特征在于，其包括以下步骤：

a.第二工控机控制检测激励激光器激发在线扫查用检测激光，激光光束通过第二扩束镜以及动态聚焦系统及第二振镜倾斜入射角度为θ在打印件表面上，与打印件发生作用，保持检测激励激光光束打印件表面的焦斑尺寸在一定范围内；

b.第一工控机控制干涉仪与打印激光器保持一定时序的触发，在打印的情况下，第一工控机控制打印激光器作用，产生打印激光光束分别通过第一扩束镜、合束镜、第一振镜和场镜作用于打印基板表面形成打印件；

c.待打印一层或几层时第一工控机控制干涉仪触发干涉光束，光束依次通过准直器、合束镜、第一振镜和场镜作用于打印件表面，保持干涉光束在打印件表面的保持焦斑尺寸在一定范围内，干涉光束和检测激励激光光束在打印件表面上分别形成的焦斑保持一定距离L，干涉光束得到检测激励激光光束与打印面作用信号，通过场镜、第一振镜、合束镜、准直器返回到干涉仪与第一工控机，通过第一工控机得到形成缺陷的信息，进而实现同轴光路下的在线缺陷检测、检出。