[发明专利]一种沉积单元与基体界面结合状态的检测方法及其前处理方法有效

专利信息
申请号: 202110484755.3 申请日: 2021-04-30
公开(公告)号: CN113176204B 公开(公告)日: 2022-02-22
发明(设计)人: 谢迎春;黄仁忠;殷硕;陈超越;马丽;黄健;刘敏;邓春明 申请(专利权)人: 广东省科学院新材料研究所
主分类号: G01N19/04 分类号: G01N19/04
代理公司: 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 代理人: 黄燕
地址: 510000 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 沉积 单元 基体 界面 结合 状态 检测 方法 及其 处理
【权利要求书】:

1.一种喷涂沉积单元与基体界面结合状态的检测方法,其特征在于,包括:对经前处理方法得到的试样施加外力,以使粘合剂以及至少部分所述沉积单元共同从所述基体的表面剥离,暴露出剥离断面,随后对所述剥离断面进行检测;

检测包括检测被剥离的所述沉积单元和所述基体之间的界面的二维结合信息;

前处理方法包括以下步骤:在基体表面的沉积单元上覆着粘合剂;

所述沉积单元与所述基体之间具有孔隙,在施加外力前,还包括对覆着有所述粘合剂和所述沉积单元的所述基体进行后处理以使所述粘合剂渗入并填充所述沉积单元与所述基体之间的孔隙;所述后处理的方式包括加热、保温和超声中的至少一种。

2.根据权利要求1所述的检测方法,其特征在于,所述粘合剂包括FM1000胶和E7胶中的至少一种。

3.根据权利要求1所述的检测方法,其特征在于,所述沉积单元由喷涂材料喷涂于所述基体的表面而得。

4.根据权利要求1所述的检测方法,其特征在于,覆盖所述沉积单元之前,还包括对所述基体进行预处理。

5.根据权利要求4所述的检测方法,其特征在于,所述预处理包括喷砂、抛光、机械打磨、激光雕刻、预热及清洗中的至少一种。

6.根据权利要求1所述的检测方法,其特征在于,所述前处理方法还包括:在所述粘合剂的背离所述沉积单元的一侧的表面连接对偶件,且所述对偶件与所述粘合剂之间的结合力大于所述粘合剂与所述沉积单元之间的结合力。

7.根据权利要求1所述的检测方法,其特征在于,所述检测的方式包括扫描电镜、能谱扫描、显微镜、放大镜以及透射电镜中的至少一种。

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