[发明专利]一种非熔融超晶格相变薄膜材料在审
申请号: | 202110484811.3 | 申请日: | 2021-04-30 |
公开(公告)号: | CN113346012A | 公开(公告)日: | 2021-09-03 |
发明(设计)人: | 程晓敏;张博凯;缪向水 | 申请(专利权)人: | 华中科技大学 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00 |
代理公司: | 武汉华之喻知识产权代理有限公司 42267 | 代理人: | 彭翠;曹葆青 |
地址: | 430074 *** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 熔融 晶格 相变 薄膜 材料 | ||
1.一种非熔融超晶格相变薄膜材料,其特征在于:包括相变层和钉扎层,所述相变层和钉扎层交替堆叠形成周期性结构,所述相变层采用GeTe材料,所述钉扎层采用TiTe2材料;
工作时,在所述相变层开始发生非熔融相变时,所述钉扎层不会发生相变,以提高所述钉扎层在相变过程中的稳定性。
2.根据权利要求1所述的非熔融超晶格相变薄膜材料,其特征在于:单层钉扎层的晶体结构为至少两层TiTe2。
3.根据权利要求1或2所述的非熔融超晶格相变薄膜材料,其特征在于:单层相变层的晶体结构为三层GeTe晶格。
4.根据权利要求3所述的非熔融超晶格相变薄膜材料,其特征在于:所述三层GeTe晶格由上至下或由下至上有四种点阵排列方式,分别为Ge-Te-Ge-Te-Ge-Te、Ge-Te-Ge-Te-Te-Ge、Ge-Te-Te-Ge-Ge-Te和Te-Ge-Ge-Te-Ge-Te。
5.根据权利要求4所述的非熔融超晶格相变薄膜材料,其特征在于:在所述相变层发生非熔融相变过程中,所述三层GeTe晶格在所述四种点阵排列方式之间转变,使得所述非熔融超晶格相变薄膜材料形成四种不同晶体结构。
6.根据权利要求5所述的非熔融超晶格相变薄膜材料,其特征在于:所述四种不同晶体结构的晶体常数a、b分别为其晶体常数c为或
7.根据权利要求4所述的非熔融超晶格相变薄膜材料,其特征在于:在所述相变层发生非熔融相变过程中,所述三层GeTe晶格在Ge-Te-Ge-Te-Ge-Te和Te-Ge-Ge-Te-Ge-Te这两种点阵排列方式之间转变。
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