[发明专利]调节器组合件及测试方法

说明书

可使用经选择以具有约为从包含调节器组合件的流体存储及输送容器分配的选定流体的分子量的分子量的测试流体来测试调节器组合件。所述测试流体可为单种气体或混合物。所述测试流体可具有在从所述流体存储及输送容器分配的所述选定流体的所述分子量的80％到110％之间的分子量。当依此方式测试的调节器组合件在所述测试气体流启动时展示少于两个尖峰时，其可通过评估。可将这些调节器组合件安装到流体存储及输送容器中，尤其用于加压流体的存储及输送。

技术领域

本公开涉及用于测试与流体存储及输送容器一起使用的调节器的方法，且更特定来说，涉及测试调节器以识别提供可接受尖峰性能的调节器。

背景技术

压力调节流体存储及输送容器可用于在例如(举例来说)半导体制造过程的工业过程中供应流体。压力调节可由包含一或多个压力调节器的压力调节器组合件提供。

当启动流体的分配时，一些压力调节流体存储及输送容器可能经历压力波动及不稳定，尤其当启动流量时。一些工业过程可能对此类波动及不稳定很敏感。作为针对此类产品的质量控制筛选的部分，可测试用于这些流体存储及输送容器的压力调节器以识别及拒绝会在特定压力下启动流量时提供尖峰的调节器组合件。通常，轻惰性气体用作用于测试调节器组合件的测试流体，其中气体往往基于流体的成本及/或处置特性来选择。当制造压力调节器时，测试的拒绝率显著影响产量，且组件的不当拒绝会导致压力调节器生产的显著浪费及损失。

发明内容

本公开涉及用于测试与流体存储及输送容器一起使用的调节器的方法，且更特定来说，涉及测试调节器以识别提供可接受尖峰性能的调节器。

可使用更接近通过调节器分配的流体的分子量的分子量来执行用于流体存储及输送容器的调节器组合件的测试。此可提供通过正规组合件的流动性的更准确评估。经改进评估提高测试的通过率，同时继续为通过调节器组合件的流量提供足够防尖峰保护。由于不合格组合件被废弃或退回，所以降低拒绝调节器组合件的误报率可节省成本且减少浪费。

根据本公开的各个实施例，可对组装且安装到流体存储及/或输送容器中的一些或所有调节器组合件进行测试以提供质量评估。根据本公开的各个实施例，可替代地进行测试以设置设计参数以例如改进设置设计值的选择，例如调节器组合件的出口压力的设置点。

在实施例中，一种测试用于流体供应封装的调节器的方法包含将测试流体引入到多个单独测试调节器组合件中。所述测试流体具有在将由所述流体供应封装供应的选定流体的分子量的80％到110％之间的分子量。所述多个测试调节器组合件中的每一者包含第一调节器及第二调节器，所述多个测试调节器组合件中的每一者的所述第一调节器具有设置出口压力。所述方法进一步包含观测通过所述多个测试调节器组合件中的每一者的所述第二调节器的流量。所述方法进一步包含确定通过所述多个测试调节器组合件中的每一者的所述第二调节器的所述观测流量的尖峰数目。所述方法还包含组装所述流体供应封装的供应封装调节器组合件，所述供应封装调节器组合件包含在所述观测流量中展现少于两个尖峰的所述多个测试调节器组合件中的一者的所述第一调节器及所述第二调节器。

在实施例中，所述观测流量的第一尖峰是所述观测流量的压力尖峰。

在实施例中，所述测试流体是两种或多于两种流体的混合物，且所述两种或多于两种流体中的每一者是气体。

在实施例中，所述测试流体的所述分子量在所述选定流体的所述分子量的85％到95％之间。

在实施例中，所述方法进一步包含将所述供应封装调节器组合件安装到所述流体供应封装中。

在实施例中，所述选定流体包含CF₄、CO、BF₃、SiF₄、AsH₃、PH₃及GeF₄中的一或多者。在实施例中，所述选定流体是进一步包含H₂的混合物。